公开(公告)号：WO2016207106A1

公开(公告)日：2016-12-29

申请号：PCT/EP2016/064163

申请日：2016-06-20

Applicant: LEYBOLD GMBH

Inventor： DREIFERT, Thomas ,  MÜLLER, Roland ,  PELIKAN, Max ,  SCHILLER, Dirk ,  SCHNEIDENBACH, Daniel ,  STRATMANN, Dirk

IPC: F04C25/02

CPC classification number: F04C28/065 ,  F04B37/14 ,  F04B41/06 ,  F04B49/06 ,  F04C23/001 ,  F04C25/02 ,  F04C28/02 ,  F04C28/06 ,  F04C28/26 ,  F04C2240/70

Abstract: Vakuumpumpensystem (4, 5, 6) mit einer Mehrzahl von Vakuumpumpen (P41, P42, P43, P44, P45, P51, P52, P61, P62), die in einer Parallelschaltung miteinander verbunden sind und jeweils mit einer Einlassseite an eine Kammer (40, 0, 60) angeschlossen sind, mit einer Auslassleitung (41), die an die Auslassseite der Vakuumpumpen (P41, P42, P43, P44, P45, P51, P52, P61, P62) angeschlossen ist und einer Zwischenleitung (42), die die Einlassseite von wenigstens einer Vakuumpumpe (P41, P42, P43, P44, P45, P51, P52, P61, P62) mit der Auslassleitung (41) verbindet, dadurch gekennzeichnet, dass während einer Abpumpzeit alle Vakuumpumpen (P41, P42, P43, P44, P45, P51, P52, P61, P62) parallel geschaltet sind und während einer Leerlaufzeit wenigstens eine der Vakuumpumpen (P41, P42, P43, P44, P45, P51, P52, P61, P62) als eine Vorpumpe in Reihe zu den anderen Vakuumpumpen geschaltet ist.

Abstract translation: 真空排气系统（4，5，6），其具有多个连接于彼此，并且每个具有一个腔室的入口侧的并联电路真空泵（P41，P42，P43，P44，P45，P51，P52，P61，P62）的（40 ，0，60）连接（与出口管线41），其（在真空的出口侧泵P41，P42，P43，P44，P45，P51，P52，P61，P62）相连，和一个中间导管（42） 连接至少一个真空泵（P41，P42，P43，P44，P45，P51，P52，P61，P62）到出口（41），其特征在于，在入口侧抽空所有真空泵（P41，P42，P43，P44 ，P45，P51，P52，P61，P62）被并联连接，并且在真空泵（P41，P42，P43，P44，P45，P51，P52，P61，P62）作为前级泵中的至少一个串联到另一真空泵的空闲时间 连接。

公开(公告)号：WO2018108479A1

公开(公告)日：2018-06-21

申请号：PCT/EP2017/080191

申请日：2017-11-23

Applicant: LEYBOLD GMBH

Inventor： PELIKAN, Max ,  SCHNEIDENBACH, Daniel ,  GHISLOTTI, Raffaello ,  SCHILLER, Dirk

IPC: F04C23/00 ,  F04C25/02 ,  F04C28/02 ,  F04D17/16 ,  F04D19/04 ,  F04D29/10

Abstract: Ein Vakuumpumpsystem weist eine Hauptvakuumpumpe (10) auf, die mit einer zu evakuierenden Kammer (14) verbunden ist. Mit einem Auslass der Hauptvakuumpumpe (10) ist ein Hilfspumpe (12) verbunden. Ferner ist mit der Hauptvakuumpumpe eine Sperrgaszuführeinrichtung verbunden. Mit Hilfe einer Regeleinrichtung (20) erfolgt ein Ab- und Zuschalten der Sperrgaszuführeinrichtung in Abhängigkeit einer vorgegebenen Steuergröße. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Steuerung des Vakuumpumpsystems.

公开(公告)号：WO2017012988A2

公开(公告)日：2017-01-26

申请号：PCT/EP2016/066786

申请日：2016-07-14

Applicant: LEYBOLD GMBH

Inventor： DREIFERT, Thomas ,  MÜLLER. Roland ,  PELIKAN, Max ,  SCHNEIDENBACH, Daniel ,  BEYER, Christian

IPC: F04B39/06 ,  F04C29/04

CPC classification number: F04C29/04 ,  F04B37/14 ,  F04B39/06 ,  F04B53/08 ,  F04C25/02 ,  F04C2220/12 ,  F04C2270/19 ,  F04D17/168 ,  F04D19/04 ,  F04D19/042 ,  F04D29/584

Abstract: Pumpensystem mit einer Vakuumpumpe (12) und einem mit der Vakuumpumpe (12) verbundenen Kühlelement (18). Mit dem Kühlelement (18) ist ein Kühlmittelzulauf (20) und ein Kühlmittelablauf (22) verbunden zur Kühlung der Vakuumpumpe durch Aufnahme und Abführen von Wärme durch ein Kühlmittel. Dabei ist der Kühlmittelzulauf (20) und der Kühlmittelablauf (22) mit einem Wärmetauscher (24) verbunden, so das Wärme vom Kühlmittelablauf (22) auf den Kühlmittelzulauf (20) übertragen wird.

Abstract translation: 连接到真空泵（12）和一个向真空泵（12）冷却元件（18）的泵系统。 与所述冷却元件（18）具有冷却剂入口（20）和用于通过吸收和由冷却剂的散热的冷却真空泵的冷却剂出口（22）。 这里，冷却剂入口（20）和与热交换器（24）冷却剂出口（22）连接，从而从冷却剂出口（22）到所述冷却剂入口（20），该热量被传递。