Abstract:
진공 펌프가 개시된다. 본 발명의 진공 펌프는, 진공 공간부와 배기 공간부가 마련된 펌프 본체; 펌프 본체의 상측부에 다층으로 적층 되어 결합 되며 진공 공간부 및 배기 공간부에 연결되는 복수의 진공 모듈; 및 복수의 진공 모듈 중 최상부에 배치되는 진공 모듈에 결합 되는 커버 하우징을 포함하고, 복수의 진공 모듈은 천장부가 개방되며 진공 공간부와 배기 공간부에 각각 연결되는 모듈 바디, 모듈 바디의 내부에 마련되며 회전축에 연결되어 회전되는 회전체 및 모듈 바디에 결합 되어 회전축을 회전 가능하게 지지하는 모듈 베어링을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Abstract:
An improved cooling arrangement for a vacuum pump motor and control is provided; wherein both the motor and control are provided with cooling mechanisms and housed in respective housings connected by at least one opening. The cooling mechanism of the motor or the cooling mechanism of the control provide additional cooling to either the control or motor respectively.
Abstract:
Vakuumpumpensystem (4, 5, 6) mit einer Mehrzahl von Vakuumpumpen (P41, P42, P43, P44, P45, P51, P52, P61, P62), die in einer Parallelschaltung miteinander verbunden sind und jeweils mit einer Einlassseite an eine Kammer (40, 0, 60) angeschlossen sind, mit einer Auslassleitung (41), die an die Auslassseite der Vakuumpumpen (P41, P42, P43, P44, P45, P51, P52, P61, P62) angeschlossen ist und einer Zwischenleitung (42), die die Einlassseite von wenigstens einer Vakuumpumpe (P41, P42, P43, P44, P45, P51, P52, P61, P62) mit der Auslassleitung (41) verbindet, dadurch gekennzeichnet, dass während einer Abpumpzeit alle Vakuumpumpen (P41, P42, P43, P44, P45, P51, P52, P61, P62) parallel geschaltet sind und während einer Leerlaufzeit wenigstens eine der Vakuumpumpen (P41, P42, P43, P44, P45, P51, P52, P61, P62) als eine Vorpumpe in Reihe zu den anderen Vakuumpumpen geschaltet ist.
Abstract:
Es wird ein Verfahren zur Steuerung einer Vakuumpumpe in der Vakuumversorgung eines Kraftfahrzeugs mit einer Ölversorgung zur Schmierung durch einen Antriebsmotor vorgeschlagen, wobei die Vakuumpumpe elektrisch betrieben ist und mit einer Steuerung verbunden ist, mit folgenden Schritten: Detektieren, ob der Antriebsmotor abgeschaltet wurde, Starten der Vakuumpumpe mit einer Drehzahl unter der Arbeitsdrehzahl, Abschalten nach einer voreingestellten Zeit (t s ).
Abstract:
L'appareil comprend deux ensembles séparés, avec un bloc stationnaire (12) comprenant un moteur (16) et une pompe à vide (14), et une tête mobile (20) comprenant un interrupteur de commande du moteur et un embout d'aspiration couplé à une valve (32) du récipient étanche (28, 30). Le bloc stationnaire et la tête mobile sont réunis par un double cordon flexible, avec un cordon pneumatique (22) reliant la pompe à vide à l'embout d'aspiration, et un cordon électrique (36) reliant l'interrupteur de commande au moteur électrique. Les deux cordons sont des cordons spiralés coaxiaux élastiquement et conjointement déployables depuis une position de repos, où la tête mobile repose sur le bloc stationnaire, jusqu'à une configuration active, où la tête mobile reste couplée au récipient sous l'effet de l'aspiration, à distance du bloc stationnaire.
Abstract:
L'invention concerne un système de pompage destiné à être raccordé à une enceinte (2) de sas de chargement et de déchargement d'un substrat (5), comportant au moins un premier groupe de pompage primaire (9a, 9b) ayant une première vitesse de pompage maximale (S1) et un deuxième groupe de pompage primaire (10a, 10b) ayant une deuxième vitesse de pompage maximale (S2), chaque groupe de pompage primaire (9a, 9b, 10a, 10b) comprenant une pompe à vide Roots monoétagée (15) et une pompe à vide primaire (13), la pompe à vide Roots monoétagée (15) étant montée en série et en amont de la pompe à vide primaire (13) dans le sens d'écoulement des gaz à pomper, lesdits premier et deuxième groupes de pompage primaire (9a, 9b, 10a, 10b) étant montés en parallèle et configurés pour pomper simultanément l'enceinte (2) du sas de chargement et de déchargement du substrat, caractérisé en ce que ledit premier groupe de pompage primaire (9a, 9b) présente des caractéristiques de pompage distinctes dudit deuxième groupe de pompage primaire (10a, 10b), l'écart entre les première et deuxième vitesses de pompage maximales desdits premier et deuxième groupes de pompage primaire (9a, 9b, 10a, 10b) étant supérieur à 500 m 3 /h. L'invention concerne également un procédé de descente en pression dans une enceinte (2) de sas de chargement et de déchargement.
Abstract:
Ein Vakuumpumpen-System weist eine erste Vakuumpumpe (10) auf, die partikelunempfindlich ist. Eine zweite Vakuumpumpe (12), die mit der ersten Vakuumpumpe (10) verbunden ist, ist partikelempfindlich. Das Verbindungselement (14) zwischen den beiden Vakuumpumpen (10, 12) ist derart ausgebildet, dass es eine steife Verbindung herstellt und die erste Vakuumpumpe (10) trägt. Ferner ist das Verbindungselement (14) mit Filterelementen (18, 20) verbunden. Das Vorsehen eines die Vakuumpumpen tragenden Stahlgerüsts ist nicht erforderlich.
Abstract:
Ce dispositif comprend au moins deux étages de pompes (1, 2) placées en succession pour vider une enceinte (3), et comprend un circuit de commande des vannes (7, 8, 9) qui permet de les commuter à l'intérieur d'une séquence unique, invariable et dans un sens ou dans l'autre, pour faire passer successivement le système par les différents états souhaités. On évite ainsi des manipulations compliquées et pouvant être génératrices d'erreurs.
Abstract:
Embodiments of the invention provide dry gaseous fluid pump apparatus comprising: a fluid inlet and a fluid outlet; at least one pump body having an internal wall defining an internal pump chamber thereof; a compression member provided within the pump chamber; and valve means being operable selectively to allow fluid to be drawn from the fluid inlet and into the pump chamber when at least a portion of the compression member is translated in a first direction and to be exhausted from the pump chamber through the fluid outlet when said at least a portion of the compression member Is translated in a second direction opposite the first.