公开(公告)号：WO2017184561A1

公开(公告)日：2017-10-26

申请号：PCT/US2017/028060

申请日：2017-04-18

Applicant: OREGON STATE UNIVERSITY

Inventor： PERKINS, Cory, K. ,  MANSERGH, Ryan, Helmut ,  RAMOS, Juan, Carlos ,  KESZLER, Douglas, A.

IPC: B32B7/02 ,  B32B9/04 ,  B32B18/00

CPC classification number: G02B1/113 ,  B32B7/02 ,  B32B9/005 ,  B32B9/04 ,  C03C17/25 ,  C03C2217/214 ,  C03C2217/23 ,  C03C2217/425 ,  C03C2217/732 ,  C03C2218/113 ,  C04B35/10 ,  C04B35/111 ,  C04B35/447 ,  C04B35/62218 ,  C04B35/63488 ,  C04B2235/3218 ,  C04B2235/75 ,  C04B2235/963 ,  C23C18/1216

Abstract: Disclosed herein are embodiments of a porous aluminum oxide thin film having a surface RMS roughness value of less than 1 nm. The thin film may also comprise phosphorus. The disclosed thin films may have a refractive index of from 1 to 2, such as from 1 to 1.5. Also disclosed are embodiments of as method for making the disclosed thin films, comprising forming an aqueous solution of the alumina precursor, a surfactant and optionally a phosphorus-containing precursor, and depositing the solution on a substrate.

Abstract translation: 本文公开了具有小于1nm的表面RMS粗糙度值的多孔氧化铝薄膜的实施方案。 该薄膜也可以包含磷。 所公开的薄膜可以具有1至2，例如1至1.5的折射率。 还公开了作为制备所公开的薄膜的方法的实施方式，包括形成氧化铝前体，表面活性剂和任选的含磷前体的水溶液，并将该溶液沉积在基底上。