公开(公告)号：WO2004018908A3

公开(公告)日：2004-12-09

申请号：PCT/US0326038

申请日：2003-08-20

Applicant: SANFORD JAMES E

Inventor： SANFORD JAMES E

IPC: F15C5/00 ,  F16K99/00 ,  G02B26/02 ,  G03F7/20 ,  F16D1/00 ,  F16D31/06 ,  F16D65/32

CPC classification number: F16K99/0001 ,  F15C5/00 ,  F16K99/0011 ,  F16K99/0028 ,  F16K99/0046 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/008 ,  G02B26/004 ,  G02B26/02 ,  G03F7/70291 ,  G03F7/70383

Abstract: A fluid valve device formed of MEMS devices includes a generally-planar semiconductor substrate (102) having one or more apertures (100/210) to provide passages for fluids, gases, or the like. Movable gate elements (104/214) alternately cover or expose such apertures to either block or open such passages. Actuators (110) in the form of miniature electromagnets (112/114) repel or attract the gate elements to open or close the passages. The fluid valve device may be used to control fluid (216), or in aspiration systems used to suction fluids.

Abstract translation: 由MEMS器件形成的流体阀装置包括具有一个或多个孔口（100/210）的大致平面的半导体衬底（102），以提供用于流体，气体等的通道。 可移动门元件（104/214）交替地覆盖或暴露这些孔以阻挡或打开这些通道。 微型电磁铁（112/114）形式的致动器（110）排斥或吸引门元件以打开或关闭通道。 流体阀装置可以用于控制流体（216），或用于吸入流体的抽吸系统中。