公开(公告)号：WO2020136262A1

公开(公告)日：2020-07-02

申请号：PCT/EP2019/087103

申请日：2019-12-27

Applicant: THALES ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE ,  FREC'N'SYS ,  YNCREA HAUTS-DE-FRANCE ETABLISSEMENT ISEN LILLE ,  UNIVERSITE DE LILLE ,  ECOLE CENTRALE DE LILLE ,  UNIVERSITE POLYTECHNIQUE HAUTS-DE-FRANCE

Inventor： PHAM COLOMBAN, Thi Mai ,  PRÉVOT, Claude ,  MARTINS, Paolo ,  HLADKY- HENNION, Anne-Christine ,  DUBUS, Bertrand ,  SAGNARD, Marianne ,  LAROCHE, Thierry ,  BALLANDRAS, Sylvain ,  CROENNE, Charles

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/64

Abstract: L'invention concerne un dispositif (10) à onde acoustique de surface comprenant : - au moins un transducteur (T1, T2), - deux réflecteurs acoustiques (M1, M2) disposés de part et d'autre de l'au moins un transducteur de manière à former une cavité, chaque réflecteur acoustique comprenant un réseau d'électrodes (R1, R2) en forme de lignes (21) parallèles entre elles, chaque réseau comprenant un sous ensemble d'électrodes connectées à un potentiel de référence dénommé masse (M) définissant un premier type de connexion (CC), et un sous ensemble d'électrodes qui ne sont connectées à aucun potentiel, c'est-à-dire qui présentent une connexion flottante définissant un deuxième type de connexion (CO), - au moins un circuit de commutation (CCOM) configuré pour modifier la répartition des connexions d'au moins une partie des électrodes de chaque réseau entre les différents types de connexion.

公开(公告)号：WO2014049045A1

公开(公告)日：2014-04-03

申请号：PCT/EP2013/070052

申请日：2013-09-26

Applicant: THALES ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE

Inventor： PHAM COLOMBAN, Thi Mai ,  ZIAEI, Afshin ,  DEGRAEVE, Sébastien ,  HLADKY-HENNION, Anne-Christine ,  DUBUS, Bertrand ,  GRANGER, Christian

IPC: H03H9/17 ,  H03H9/54 ,  H03H9/58 ,  H03H9/02 ,  G10K11/00

CPC classification number: H03H9/178 ,  G10K11/002 ,  H03H9/542 ,  H03H9/547 ,  H03H9/585 ,  H03H2009/02188

Abstract: L'invention concerne un dispositif acoustique comprenant une structure (1) périodique phononique à bande réglable de fréquences interdites de charge apparaissant lorsqu'un déplacement de charges électriques provient d'une référence électrique extérieure via une électrode, caractérisé en ce qu'il comprend : - un ensemble d'éléments (2) piézoélectriques connectés mécaniquement en série, un élément (2) piézoélectrique comprenant un matériau piézoélectrique et étant polarisé selon une direction de polarisation (d pol ), les directions de polarisation de deux éléments (2) successifs étant parallèles ou anti-parallèles et lesdits éléments (2) piézoélectriques étant dirigés selon une direction principale (d princ ); - un ensemble d'électrodes (3) disposées entre deux éléments piézoélectriques adjacents (2) et perpendiculaires à la direction principale; - l'ensemble desdites électrodes comprenant au moins un sous-ensemble d'électrodes connectées de façon périodique à une référence électrique extérieure (4); - ledit sous-ensemble d'électrodes étant connecté à la référence électrique (4) par l'intermédiaire d'un circuit électrique (5).

Abstract translation: 本发明涉及一种包括周期性光子结构（1）的声学装置，该周期性光子结构（1）具有当电荷位移通过电极来自外部电气参考时出现的禁止电荷频率的可调节带，其特征在于其包括：一组压电元件 （2），串联连接的压电元件（2），包括压电材料并在偏振方向（dpol）极化，两个连续元件（2）的偏振方向平行或反平行，所述压电元件（2） 指向主方向（dprinc）; - 一组布置在两个相邻压电元件（2）之间并垂直于主方向的电极（3） - 所述电极组包括周期性地连接到外部电气参考（4）的电极的至少一个子集; - 所述电极子集经由电路（5）连接到所述电参考（4）。

公开(公告)号：WO2013011128A1

公开(公告)日：2013-01-24

申请号：PCT/EP2012/064289

申请日：2012-07-20

Applicant: THALES ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE ,  UNIVERSITE PARIS-SUD 11 ,  BUI-THI, Kim-Anh ,  GARRY, Guy ,  LEULIET, Aude ,  LECOEUR, Philippe ,  PHAM COLOMBAN, Thi Mai

Inventor： BUI-THI, Kim-Anh ,  GARRY, Guy ,  LEULIET, Aude ,  LECOEUR, Philippe ,  PHAM COLOMBAN, Thi Mai

IPC: H01H1/00 ,  H01H57/00 ,  H01H59/00 ,  H01G5/16

CPC classification number: H01H59/0009 ,  H01G5/16 ,  H01H2001/0042 ,  H01H2001/0084 ,  H01H2057/006

Abstract: L'invention concerne un composant MEMS-RF temps d'activation rapide et destin des applications dans des domaines de fréquences inférieurs environ 10 GHz comprenant un substrat isolant (S) comportant la surface dudit substrat au moins une ligne RF (LRF) situe entre deux surfaces conductrices (M 1 , M 2 ), ladite ligne RF tant au moins localement recouverte dune couche de matériau diélectrique (MD), ledit composant comprenant en outre une membrane (m) situe au dessus de ladite ligne RF et en contact avec les deux surfaces conductrices caractérisé en ce que ledit matériau diélectrique est un matériau ferroélectrique de constante diélectrique supérieure environ 600 et de polarisation rémanente inférieure environ 5 µC.cm -2 L'invention a aussi pour objet un procédé de fabrication dudit composant.

Abstract translation: 本发明涉及一种具有快速激活时间并且适用于低于约10GHz的频率范围内的应用的RF MEMS组件，包括在所述衬底的表面上具有至少一个RF线（LRF）的绝缘衬底（S） 位于两个导电区域（M1，M2）之间，所述RF线路至少局部地覆盖有介电材料层（MD），所述部件还包括位于所述RF线上方的膜（m），并与两个导电区域 其特征在于，所述介电材料是具有高于约600的介电常数和小于约5μC·cm-2的残余极化的铁电材料。 本发明还涉及一种用于制造所述部件的方法。