Abstract:
An electrical circuit assembly can include a semiconductor integrated circuit, such as fabricated including CMOS devices. A first lateral-mode resonator can be fabricated upon a surface of the semiconductor integrated circuit, such as including a deposited acoustic energy storage layer including a semiconductor material, a deposited piezoelectric layer acoustically coupled to the deposited acoustic energy storage layer, and a first conductive region electrically coupled to the deposited piezoelectric layer and electrically coupled to the semiconductor integrated circuit. The semiconductor integrated circuit can include one or more transistor structures, such as fabricated prior to fabrication of the lateral-mode resonator. Fabrication of the lateral-mode resonator can include low-temperature processing specified to avoid disrupting operational characteristics of the transistor structures.
Abstract:
L'invention concerne un dispositif acoustique comprenant une structure (1) périodique phononique à bande réglable de fréquences interdites de charge apparaissant lorsqu'un déplacement de charges électriques provient d'une référence électrique extérieure via une électrode, caractérisé en ce qu'il comprend : - un ensemble d'éléments (2) piézoélectriques connectés mécaniquement en série, un élément (2) piézoélectrique comprenant un matériau piézoélectrique et étant polarisé selon une direction de polarisation (d pol ), les directions de polarisation de deux éléments (2) successifs étant parallèles ou anti-parallèles et lesdits éléments (2) piézoélectriques étant dirigés selon une direction principale (d princ ); - un ensemble d'électrodes (3) disposées entre deux éléments piézoélectriques adjacents (2) et perpendiculaires à la direction principale; - l'ensemble desdites électrodes comprenant au moins un sous-ensemble d'électrodes connectées de façon périodique à une référence électrique extérieure (4); - ledit sous-ensemble d'électrodes étant connecté à la référence électrique (4) par l'intermédiaire d'un circuit électrique (5).