公开(公告)号：WO2008126527A1

公开(公告)日：2008-10-23

申请号：PCT/JP2008/054026

申请日：2008-03-06

Applicant: TOWA株式会社 ,  天川 剛 ,  高瀬 慎二 ,  大西 洋平 ,  浦上 浩 ,  高田 直毅 ,  大槻 修 ,  小田 守

Inventor： 天川 剛 ,  高瀬 慎二 ,  大西 洋平 ,  浦上 浩 ,  高田 直毅 ,  大槻 修 ,  小田 守

IPC: B29C43/34 ,  B29C43/18 ,  B29C43/32 ,  B29C43/58 ,  H01L21/56

CPC classification number: B29C43/18 ,  B29C37/0003 ,  B29C37/0075 ,  B29C43/183 ,  B29C43/184 ,  B29C43/34 ,  B29C43/36 ,  B29C2043/3427 ,  H01L21/565 ,  H01L21/566 ,  H01L24/97 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/97 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01075 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/12041 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2224/85 ,  H01L2924/00

Abstract: 　まず、所定量の顆粒樹脂（６）をプレート（２１）の樹脂収容空間（２２）に供給する。次に、離型フィルム（１１）で樹脂収容空間（２２）を覆うようにプレート（２１）を被覆する。その後、樹脂収容空間（２２）を所定の真空度に設定する。次に、離型フィルム（１１）が被覆されたプレート（２１）を裏返す。その後、裏返されたプレートをキャビティ（５）内へ移動し、キャビティ（５）の表面を離型フィルム（１１）で被覆する。この状態で、顆粒樹脂（６）を樹脂収容空間（２２）から離型フィルム（１１）に被覆されたキャビティ（５）へ落下させる。

Abstract translation: 首先，将给定量的颗粒状树脂（6）供给到板（21）的树脂容纳空间（22）中。 其次，用脱模膜（11）覆盖板（21），以便分散在树脂容纳空间（22）上。 第三，将树脂容纳空间（22）设定为给定的真空度。 第四，用脱模膜（11）覆盖的板（21）上下颠倒。 最后，将倒置的板移动到空腔（5）中，使得空腔（5）的表面被脱模膜（11）覆盖。 在这种情况下，粒状树脂（6）从树脂容纳空间（22）落入覆盖有脱模膜（11）的空腔（5）中。