公开(公告)号：WO2006039561A3

公开(公告)日：2006-10-19

申请号：PCT/US2005035315

申请日：2005-09-30

Applicant: UNIV SOUTHERN CALIFORNIA ,  BEI TECHNOLOGIES INC ,  KIM EUN SOK ,  ZOU QIANG ,  MADNI ASAD ,  COSTLOW LYNN ,  VUONG JIM ,  WELLS ROGER

Inventor： KIM EUN SOK ,  ZOU QIANG ,  MADNI ASAD ,  COSTLOW LYNN ,  VUONG JIM ,  WELLS ROGER

IPC: G01P15/08 ,  G01C19/56 ,  G01P15/18

CPC classification number: G01C19/5719 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5621 ,  G01C19/5628 ,  G01C19/5656 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/097 ,  G01P15/123 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0817 ,  G01P2015/0828 ,  Y10T29/49004 ,  Y10T29/49007

Abstract: A MEMS silicon inertial sensor formed of a mass that is supported and constrained to vibrate in only specified ways. The sensors can be separately optimized from the support, to adjust the sensitivity separate from the bandwidth. The sensor can sense three dimensionally, or can only sense in a single plane. Vibration cancellation may be provided.

Abstract translation: MEMS硅惯性传感器由质量块形成，该质量块被支撑和约束以仅以指定的方式振动。 传感器可以从支持单独优化，以调整灵敏度与带宽分开。 传感器可以三维感测，或只能在单个平面中感知。 可以提供振动消除。

公开(公告)号：WO2006039560A2

公开(公告)日：2006-04-13

申请号：PCT/US2005035313

申请日：2005-09-30

Applicant: UNIV SOUTHERN CALIFORNIA ,  KIM EUN SOK ,  ZOU QIANG

Inventor： KIM EUN SOK ,  ZOU QIANG

IPC: G01P15/10 ,  G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5719 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5621 ,  G01C19/5628 ,  G01C19/5656 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/097 ,  G01P15/123 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0817 ,  G01P2015/0828 ,  Y10T29/49004 ,  Y10T29/49007

Abstract: A MEMS silicon inertial sensor formed of a mass that is supported and constrained to vibrate in only specified ways. The sensors can be separately optimized from the support, to adjust the sensitivity separate from the bandwidth. The sensor can sense three dimensionally, or can only sense in a single plane.

Abstract translation: MEMS硅惯性传感器由质量块形成，该质量块被支撑和约束以仅以指定的方式振动。 传感器可以从支持单独优化，以调整灵敏度与带宽分开。 传感器可以三维感测，或只能在单个平面中感知。