公开(公告)号：WO2016083508A1

公开(公告)日：2016-06-02

申请号：PCT/EP2015/077778

申请日：2015-11-26

Applicant: VON ARDENNE GMBH

Inventor： KÜNANZ, Robert ,  MELCHER, Jens ,  LAIMER, Georg ,  HORNBOSTEL, Björn ,  HÄUSLER, Christoph ,  ZSCHIESCHANG, Erwin

IPC: H01L21/673

CPC classification number: H01L21/67346 ,  C23C14/34 ,  C23C14/50

Abstract: Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Substrathaltevorrichtung (100) bereitstellt, wobei diese Folgendes aufweisen kann: eine Trägerplatte (102) mit einer Aussparung (112), wobei sich die Aussparung (112) von einer Oberseite (102a) der Trägerplatte (102) zu einer Unterseite (102b) der Trägerplatte (102) durch die Trägerplatte (102) hindurch erstreckt; einen Halterahmen (132a), welcher eine Rahmenöffnung (132) und eine die Rahmenöffnung (132) umgebende Auflagefläche (111a) zum Halten eines Substrats (120) in der Aussparung (112) aufweist; wobei der in die Aussparung (112) eingelegte Halterahmen (132a) abschnittsweise auf der Trägerplatte (102) aufliegt.

Abstract translation: 根据各种实施例，基板保持装置（100）提供，其中这些可包括：具有凹部（112）的支撑板（102），所述支撑板（102）的从上表面（102A）的凹部（112）的底 通过延伸穿过所述支撑板（102）的支撑板（102）的（102B）; 的保持框（132A），其具有框架开口（132）和围绕所述支承表面在所述凹部（112）保持的基板（120）（111A）的框架开口（132）; 其中，在所述凹部（112），其插入保持在支承板部的架（132A）（102）搁置。