公开(公告)号：WO2018105753A2

公开(公告)日：2018-06-14

申请号：PCT/JP2018/007907

申请日：2018-03-01

Applicant: 株式会社村田製作所

Inventor： 北村　彰宏

IPC: G01F1/69 ,  G01P5/12

CPC classification number: G01F1/69 ,  G01P5/12

Abstract: 発熱素子の影響を受けることなく、第２温度センサ素子によって、風の温度を正確に測定することができるセンサ基板を提供する。　発熱素子５（正特性サーミスタ）および第１温度センサ素子６（第１負特性サーミスタ）と、第２温度センサ素子７（第２負特性サーミスタ）との熱的分離を、基板１に、切欠き４ａ、４ｂを形成し、切欠き４ａ、４ｂの一方側に、発熱素子５および第１温度センサ素子６を実装し、切欠き４ａ、４ｂの他方側に、第２温度センサ素子７を実装することによりおこなう。

公开(公告)号：WO2016096459A1

公开(公告)日：2016-06-23

申请号：PCT/EP2015/078527

申请日：2015-12-03

Applicant: ENDRESS+HAUSER FLOWTEC AG

Inventor： ARNOLD, Martin ,  PFAU, Axel

IPC: G01F25/00 ,  G01F1/684 ,  G01F1/69 ,  G01P5/12

CPC classification number: G01F1/696 ,  G01F1/6842 ,  G01F1/69 ,  G01F25/0007 ,  G01P5/12

Abstract: Thermisches Durchflussmessgerät (1), insbesondere zur Bestimmung und/oder Überwachung des Massedurchflusses (Φ Μ ) und/oder der Durchflussgeschwindigkeit (v D ) eines strömungsfähigen Mediums (3) durch eine Rohrleitung (2) mit zumindest drei Sensorelementen (4a, 4b, 4c) und einer Elektronikeinheit (9), sowie ein Verfahren zum Betreiben eines thermischen Durchflussmessgeräts (1), wobei jedes der zumindest drei Sensorelemente (4a, 4b, 4c) zumindest teilweise und/oder zeitweise mit dem Medium (3) in thermischem Kontakt steht, und einen beheizbaren Temperatursensor (5a, 5b, 5c) umfasst, wobei die Elektronikeinheit (9) dazu ausgestaltet ist, jedes der drei Sensorelemente (4a, 4b, 4c) mit einer Heizleistung (P1,P2,P3) zu heizen, dessen Temperatur (T1,T2,T3) zu erfassen, und zumindest zwei der zumindest drei Sensorelemente (4a, 4b, 4c) gleichzeitig zu heizen, kontinuierlich den Massed urchfluss (Φ Μ ) und/oder die Durchflussgeschwindigkeit (v D ) des Mediums (3) zu ermitteln, und gleichzeitig aus einem paarweisen Vergleich der Temperaturen (T11,T12,...) und/oder Heizleistungen (P11, P12,...) eine Aussage über den Zustand (D 1 ,D 2 ,D 3 ) von zumindest einem der zumindest drei Sensorelemente (4a, 4b, 4c) zu treffen, und im Falle dass eine Fehlfunktion und/oder eine Belagsbildung an zumindest einem der zumindest drei Sensorelemente (4a, 4b, 4c) auftritt, eine Korrektur des Messwerts für den Massed urchfluss (Φ Μ ) und/oder die Durchflussgeschwindigkeit (v D ) durchzuführen und/oder eine Meldung über den Zustand des zumindest einen Sensorelements (4a,4b,4c) zu generieren und auszugeben.

Abstract translation: （1），特别是对于可流动介质通过管道（3）确定和/或监视的质量流率（ΦΜ）和/或流率（VD）（2）具有至少三个传感器元件的热流量测量装置（4A，4B，4C）和 的电子单元（9），以及用于操作热流量测定仪的方法（1），每个所述至少三个传感器元件（4A，4B，4C）至少部分地和/或临时地与热接触的介质（3）进行通信，以及 可加热温度传感器（5A，5B，5C），其中，所述电子单元（9）适于分别在三个传感器元件（4A，4B，4C），用于与一个加热能力的加热（P1，P2，P3）时，温度的（T1， T2检测T3），并确定至少两个所述介质（3）的至少三个传感器元件（4A，4B，4C），以同时加热，连续地集结urchfluss（ΦΜ）和/或流动速度（v D）的，并在同一 的温度（T11，T12，...）和/或热输出（P11，P12，...），一个关于状态（D1，D2，D3）语句的成对比较的TIG所述至少三个传感器元件中的至少一个（4a的 ，4B，4C）取，以及在壳体上的至少三个传感器元件（4A，4B，4C）时，为对集结urchfluss（ΦΜ测量值的校正），和/或所述至少一个存款的故障和/或形成 流速（VD）来执行和/或在所述至少一个传感器元件的状态的消息（4A，4B，4C），以产生和输出。

公开(公告)号：WO2015115084A1

公开(公告)日：2015-08-06

申请号：PCT/JP2015/000325

申请日：2015-01-26

Applicant: 国立大学法人香川大学

Inventor： 下川　房男 ,  高尾　英邦 ,  鈴木　孝明 ,  小林　剛 ,  片岡　郁雄

IPC: G01F1/684 ,  A01G7/00 ,  G01F1/692 ,  G01P5/12

CPC classification number: G01P5/08 ,  A01G7/00 ,  A01G7/06 ,  A01G22/00 ,  A01G25/16 ,  A01G25/167 ,  G01N27/04 ,  G01N33/0098 ,  G01P5/12

Abstract: 　新梢末端や果柄等の植物細部内を流れる水分動態を測定することができる植物水分動態センサを提供する。　温度センサ１１とヒータ１２とが設けられたヒータ付温度プローブ１０と、温度センサ２１が設けられた温度プローブ２０と、電気抵抗測定用電極３３が設けられた電気抵抗プローブ３０と、各プローブ１０、２０、３０を平行に並べた状態で支持する支持部８０とを備える。電気抵抗プローブ３０で測定された電気抵抗から導管ＸＹの位置を検出できるので、温度センサ１１、２１を師管ＰＨまたは導管ＸＹの位置に正確に配置することができる。そのため、植物水分動態センサ１の取り付け作業が容易であり、植物の水分動態を精度よく測定することができる。

Abstract translation: 本发明提供一种植物水分运动状态传感器，其能够测量流过茎端，花序梗或其他小植物部分的内部的水分的运动状态。 植物湿度运动状态传感器设置有装有温度传感器（11）和加热器（12）的加热器配备的温度探针（10），设置有温度传感器（21）的温度探针（20），电气 设置有用于电阻测量的电极（33）的电阻探针（30）和用于以平行取向的状态支撑探针（10,20,30）的支撑单元（80）。 导电容器（XY）的位置可以从由电阻探针（30）测量的电阻中检测出来，因此温度传感器（11,21）可以准确地放置在筛管（PH）的位置， 或导电容器（XY）。 结果，容易附着植物水分运动状态传感器（1），并且可以精确地测量植物的水分运动状态。

公开(公告)号：WO2014002738A1

公开(公告)日：2014-01-03

申请号：PCT/JP2013/065914

申请日：2013-06-10

Applicant: 日立オートモティブシステムズ株式会社

Inventor： 土井　良介 ,  半沢　恵二 ,  徳安　昇

IPC: G01F1/684 ,  G01F1/692 ,  G01P5/12

CPC classification number: G01F1/692 ,  G01F1/6845 ,  G01F5/00 ,  G01P5/12

Abstract: 　本発明の目的は、検出精度の高い熱式流量センサを提供することである。上記目的を達成するために、本発明の熱式流量センサは、半導体基板を加工して設けられるダイアフラムと、前記ダイアフラム上に設けられる発熱抵抗体と、前記発熱抵抗体の上流側と下流側にそれぞれ設けられる側温抵抗体と、を有する流量検出素子と、前記流量検出素子を、シート接着剤を介して接着保持する支持部材と、を備え、前記支持部材は、前記ダイアフラムの裏面側に設けられる空洞部に一方が開口する連通孔を有しており、前記シート接着剤は、前記支持部材の連通孔の開口領域に換気孔が形成されていることを特徴とする。

Abstract translation: 本发明的目的是提供一种具有高检测精度的热流传感器。 为了达到上述目的，该热流量传感器具有如下特征：具有通过处理半导体基板获得的隔膜的流量检测元件，设置在所述隔膜上的加热电阻器，以及设置在所述隔膜上游和下游的电阻温度检测器 加热电阻; 以及支撑构件，其以插入其间的片状粘合剂粘合地保持流量检测元件。 该热流传感器的特征在于：支撑构件具有连接孔，其一端通向设置在隔膜背面的空腔; 并且在支撑构件中的连接孔打开的片状粘合剂的区域中形成通气孔。

公开(公告)号：WO2011010282A1

公开(公告)日：2011-01-27

申请号：PCT/IB2010/053299

申请日：2010-07-20

Applicant: KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. ,  SCHIPPER, Alphonsus, Tarcisius, Jozef, Maria ,  LEPPARD, Michael, James, Robbert ,  DENYER, Jonathan, Stanley, Harold ,  DYCHE, Anthony ,  LULOFS, Klaas, Jacob ,  HAARTSEN, Jaap, Roger

Inventor： SCHIPPER, Alphonsus, Tarcisius, Jozef, Maria ,  LEPPARD, Michael, James, Robbert ,  DENYER, Jonathan, Stanley, Harold ,  DYCHE, Anthony ,  LULOFS, Klaas, Jacob ,  HAARTSEN, Jaap, Roger

IPC: A61M15/00 ,  G01F1/684

CPC classification number: A61M11/005 ,  A61B5/1117 ,  A61B5/681 ,  A61B5/6831 ,  A61B2562/0219 ,  A61B2562/0271 ,  A61M5/16886 ,  A61M11/003 ,  A61M11/042 ,  A61M15/00 ,  A61M16/0003 ,  A61M16/104 ,  A61M16/18 ,  A61M2016/0021 ,  A61M2016/0027 ,  A61M2016/003 ,  A61M2205/332 ,  A61M2205/3334 ,  A61M2205/3368 ,  A61M2205/3375 ,  A61M2205/50 ,  A61M2205/82 ,  G01P5/10 ,  G01P5/12 ,  G01P13/006 ,  G08B21/0446 ,  Y10T29/49117 ,  Y10T29/49128

Abstract: A nebulizer (10) comprises a head detachably coupled to a body. The head comprises nebulizing means (42, 40, 44), an air channel (50) and a flow sensor (52). A nebulized liquid is released in an air channel (50) that ends in a mouth piece 70 through which a user inhales (5) and exhales (7). The inhaling and exhaling causes a flow in the air channel which is detected with the flow sensor (52). The nebulizing means are controlled by control means (60, 62) included in the body.

Abstract translation: 雾化器（10）包括可拆卸地联接到主体的头部。 头包括雾化装置（42,44,44），空气通道（50）和流量传感器（52）。 雾化的液体被释放在终端在用户吸入（5）和呼气（7）的口部件70中的空气通道（50）中。 吸入和呼出导致通过流量传感器（52）检测到的空气通道中的流动。 雾化装置由包括在身体中的控制装置（60,62）控制。

公开(公告)号：WO2011010260A1

公开(公告)日：2011-01-27

申请号：PCT/IB2010/053253

申请日：2010-07-16

Applicant: KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. ,  HAARTSEN, Jaap Roger ,  DEKKER, Ronald ,  DE GRAAF, Pascal ,  VAN VEEN, Nicolaas Johannes Anthonius ,  SCHIPPER, Alphonsus Tarcisius Jozef Maria

Inventor： HAARTSEN, Jaap Roger ,  DEKKER, Ronald ,  DE GRAAF, Pascal ,  VAN VEEN, Nicolaas Johannes Anthonius ,  SCHIPPER, Alphonsus Tarcisius Jozef Maria

IPC: G01F1/684

CPC classification number: A61M11/005 ,  A61B5/1117 ,  A61B5/681 ,  A61B5/6831 ,  A61B2562/0219 ,  A61B2562/0271 ,  A61M5/16886 ,  A61M11/003 ,  A61M11/042 ,  A61M15/00 ,  A61M16/0003 ,  A61M16/104 ,  A61M16/18 ,  A61M2016/0021 ,  A61M2016/0027 ,  A61M2016/003 ,  A61M2205/332 ,  A61M2205/3334 ,  A61M2205/3368 ,  A61M2205/3375 ,  A61M2205/50 ,  A61M2205/82 ,  G01P5/10 ,  G01P5/12 ,  G01P13/006 ,  G08B21/0446 ,  Y10T29/49117 ,  Y10T29/49128

Abstract: A thermal flow sensor integrated circuit for sensing flow in a channel based on temperature measurements, the integrated circuit having a temperature sensing element (30) on a front side of the integrated circuit arranged to face the channel, and a bond pad (60, 200) coupled electrically to the temperature sensing element, for making electrical contact off the integrated circuit, the bond pad being arranged to face away from the channel. By having the bond pad facing away from the channel, the space needed for the bond pad and any connections to it need not extend beyond the temperature sensing element and get in the way of the channel. Hence the temperature sensing element can be located closer to the channel or in the channel to enable measurements with better response time and sensitivity.

Abstract translation: 一种热流传感器集成电路，用于基于温度测量来感测通道中的流动，所述集成电路具有布置成面对所述通道的所述集成电路的前侧上的温度感测元件（30），以及接合焊盘（60,200 ）电耦合到所述温度感测元件，用于使所述集成电路进行电接触，所述接合焊盘被布置为面向远离所述通道。 通过使接合焊盘面向远离通道，接合焊盘所需的空间和与其连接的空间不需要延伸超过温度感测元件并妨碍通道。 因此，温度感测元件可以位于更靠近通道或通道中以使得能够以更好的响应时间和灵敏度进行测量。

公开(公告)号：WO2008104666A3

公开(公告)日：2008-11-06

申请号：PCT/FR2008050159

申请日：2008-01-31

Applicant: AIRBUS FRANCE ,  BARRE CYRIL ,  DOS-REIS MICHEL ,  MAGNIN HERVE

Inventor： BARRE CYRIL ,  DOS-REIS MICHEL ,  MAGNIN HERVE

IPC: G01P5/10 ,  G01P5/12 ,  G01P13/00 ,  G01P13/04

CPC classification number: G01P5/10 ,  G01P5/12 ,  G01P13/006 ,  G01P13/04

Abstract: The invention relates to a device for measuring the flow speed of a fluid as well as its direction and its orientation, based on a thermal-sensor measurement principle, that comprises at least three flow measurement probes (1, 1a,..., 1f) each having a sensitive member (2) and an obstacle (3) masking a predetermined measurement area of the sensor, characterised in that the flow measurement probes are attached on carrier posts (7), said carrier posts (7) defining said obstacles (2) that form masking members (4) for an angular sector of the flow measurement probes facing the sensitive member of said probes.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于测量流体的流速及其方向及其取向的装置，其基于热传感器测量原理，其包括至少三个流量测量探针（1,1a，...，1f ），其具有敏感部件（2）和遮蔽所述传感器的预定测量区域的障碍物（3），其特征在于，所述流量测量探头安装在载体柱（7）上，所述载体柱（7）限定所述障碍物 2）形成用于面向所述探针的敏感构件的流量测量探针的角扇区的遮蔽构件（4）。

公开(公告)号：WO2003093838A1

公开(公告)日：2003-11-13

申请号：PCT/JP2003/005473

申请日：2003-04-28

Applicant: 株式会社 山武 ,  中田 太郎 ,  上運天 昭司 ,  中野 正志

Inventor： 中田 太郎 ,  上運天 昭司 ,  中野 正志

IPC: G01P5/12

CPC classification number: G01F1/692 ,  G01F1/699 ,  G01P5/12

Abstract: A flow velocity sensor, comprising a base stand having a space part, a thin-film layer formed on the surface of the base stand where the space part is formed, a first temperature measuring resistance element and a second temperature measuring resistance element formed on the thin-film layer and connected in series to each other, a flow velocity calculation means for calculating the flow velocity of fluid based on a temperature difference between the first and second temperature measuring resistance elements, and a control means for controlling the first and second temperature measuring resistance elements so that the averaged temperature of the first and second temperature measuring resistance elements is always higher by a specified temperature than the ambient temperature.

Abstract translation: 一种流速传感器，包括具有空间部分的基座，形成在形成有空间部分的基座的表面上的薄膜层，形成在第一温度测量电阻元件和第二温度测量电阻元件上的第二温度测量电阻元件 薄膜层，并且彼此串联连接;流速计算装置，用于基于第一和第二温度测量电阻元件之间的温度差计算流体的流速;以及控制装置，用于控制第一和第二温度 测量电阻元件，使得第一和第二温度测量电阻元件的平均温度总是高于环境温度的指定温度。

公开(公告)号：WO2003062758A1

公开(公告)日：2003-07-31

申请号：PCT/US2003/001366

申请日：2003-01-17

Applicant: THE BOARD OF TRUSTEES OF THE UNIVERSITY OF ILLINOIS

Inventor： LIU, Chang ,  CHEN, Jack

IPC: G01F1/68

CPC classification number: G01F1/6845 ,  G01F1/688 ,  G01P5/12 ,  Y10T29/49002 ,  Y10T29/49004 ,  Y10T29/49007 ,  Y10T29/49083

Abstract: A microscale out-of-plane thermal sensor (10, 100). A resistive heater (12) is suspended over a substrate (14) by supports (16) raised with respect to the substrate to provide a clearance (20) underneath the resistive heater for fluid (22) flow. A preferred fabrication process for the thermal sensor uses surface micromachining and a three-dimensional assembly to raise the supports and lift the resistive heater over the substrate.

Abstract translation: 微尺度的平面外热传感器（10,100）。 通过相对于衬底升高的支撑件（16）将电阻加热器（12）悬置在衬底（14）上，以提供用于流体（22）流动的电阻加热器下方的间隙（20）。 用于热传感器的优选制造方法使用表面微机械加工和三维组件来升高支撑件并将电阻加热器提升到衬底上。

公开(公告)号：WO2003038381A1

公开(公告)日：2003-05-08

申请号：PCT/US2002/033914

申请日：2002-10-22

Applicant: BOARD OF TRUSTEES OF MICHIGAN STATE UNIVERSITY ,  NAGUIB, Ahmed, Mostafa ,  LI, Yongxiang

Inventor： NAGUIB, Ahmed, Mostafa ,  LI, Yongxiang

IPC: G01F1/684

CPC classification number: G01F1/68 ,  G01F1/684 ,  G01F1/688 ,  G01F1/692 ,  G01F1/696 ,  G01F1/698 ,  G01P5/12

Abstract: This invention is a flow measurement device that has high spatial (less than 1.0 x 1.0 mm 2 ) and temporal resolution (greater than 10s to 100s kHz) to measure flow properties in unsteady and direction-reversing conditions. The present invention can have an oscillating substrate, hot wire prongs, a hot wire attached to the hot wire prong, sensor leads from the prongs to a constant temperature anemometry circuit (CTA), means for the oscillating substrate to oscillate the substrate at a frequency greater than a characteristic cycle frequency of the flow to be measured, at a frequency less than a CTA bandwidth frequency, and such that a frequency and amplitude (A w ) of oscillation are sufficiently large to be detected, and means to obtain two measurements during an oscillation cycle when the hot wire is at its maximum oscillation velocity. Alternatively, the prongs can be eliminated and a hot wire or hot film can be directly applied to the oscillating substrate.

Abstract translation: 本发明是一种具有高空间（小于1.0×1.0mm 2）和时间分辨率（大于10s至100skHz）的流量测量装置，用于在不稳定和方向反转条件下测量流动特性。 本发明可以具有振荡基板，热线插脚，连接到热丝插脚的热丝，从插脚到传感器引线到恒温风速测量电路（CTA），振荡基板以频率振荡基板的装置 大于CTA带宽频率的频率，并且使得振荡的频率和振幅（Aw）足够大以被检测，并且在一个时间段期间获得两次测量的装置 当热丝处于其最大振荡速度时的振荡周期。 或者，可以消除插脚，并且可以将热丝或热膜直接施加到振荡基板。