公开(公告)号：WO2022002497A1

公开(公告)日：2022-01-06

申请号：PCT/EP2021/064239

申请日：2021-05-27

Applicant: ASML NETHERLANDS B.V.

Inventor： JANSEN, Maarten, Jozef ,  IKKINK, Teunis, Jan

IPC: G01B9/02 ,  G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/02083 ,  G03F7/70775 ,  G03F9/7049

Abstract: The invention provides a a method to determine one or more signal parameters of each signal of interest in a plurality of signals of interest received at a single detector of a heterodyne interferometer, said method comprising the following steps: a. for each signal or interest, calculating a cleaned-up signal by estimating signal contributions of the other signals of interest and subtracting these estimated signal contributions from the plurality of signals of interest; and b. for each signal of interest, determining one or more signal parameters from the respective cleaned-up signal.

公开(公告)号：WO2021228959A1

公开(公告)日：2021-11-18

申请号：PCT/EP2021/062655

申请日：2021-05-12

Applicant: CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH

Inventor： BUBLITZ, Daniel ,  WESTPHAL, Peter

IPC: G01B9/02 ,  G01B2290/60 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02005 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/02047

Abstract: Ein Verfahren zur Messung der Oberflächentopographie eines Objekts (18) weist folgende Schritte auf: a) Bereitstellen von Quellstrahlung und Aufteilen der Quellstrahlung in Beleuchtungsstrahlung (12) und Referenzstrahlung (22), b) Beleuchten der Oberfläche des Objekts (18) mit Beleuchtungsstrahlung (12) in einem flächig ausgedehnten Beleuchtungsfeld, wobei die Oberfläche das Objekt (18) gleichzeitig mit mehr als einer räumlichen Strahlungsmode beleuchtot wird und die Strahlungsmoden der Beleuchtung räumlich und zeitlich kohärent sind, aber zueinander einen festen Phasenunterschied haben, und c) Überlagern von an der Oberfläche des Objekts (18) rückgestreuter Beleuchtungsstrahlung mit der Referenzstrahlung (22) und Detektion eines Interferenzsignals der überlagerten Strahlungen (16, 22) mit mindestens einem Detektor (17). Die Schritte a) bis c) werden für mindestens zwei verschiedene, feste Wellenlängen durchgeführt. Mittels digitaler Holographie wird die Oberflächentopographie des Objekts (18) ermittelt.