公开(公告)号：WO03085369A8

公开(公告)日：2004-02-26

申请号：PCT/EP0302482

申请日：2003-03-11

Applicant: VA Q TEC AG ,  CAPS ROLAND

Inventor： CAPS ROLAND

IPC: G01L21/14 ,  G01L21/10 ,  G01M3/00 ,  G01N25/18 ,  F16L59/06 ,  G01M3/26

CPC classification number: G01L21/10 ,  G01M3/002 ,  G01N25/18

Abstract: The invention relates to the determination of the gas pressure in an evacuated thermal insulating board (9) having an insulating core (1) covered by a film (2). The inventive device comprises an assembly, which is integrated between the insulating core and the covering film of the thermal insulating board and which has a body that acts as a heat sink (3) (Al, Co, Fe, ceramic), and the body's thermal conductivity and thermal capacity relative to volume are greater than those of the insulating core. Said assembly also comprises a test layer (4) (0.3 mm nonwoven fabric made of plastic and glass fibers), which is arranged between the heat sink and the covering film and has a defined thermal conductivity that changes according to the gas pressure inside the evacuated thermal insulating board. From the exterior, a sensor device is applied to or pressed against the test device, which is placed inside the evacuated thermal insulating board and which is covered by the covering film. Said sensor device comprises a body (5) (coppered steel 78 DEG C, thermoelement (6)) having a distinctly different temperature than that of the test device (heat sink) whereby creating a heat flux, which is influenced by the thermal conductivity of the test layer, said thermal conductivity varying according to the gas pressure inside the thermal insulating board, and the magnitude of this heat flux is metrologically determined. The heat sink (3) can be provided in the form of a bottom part of a container for a getter material.

Abstract translation: 确定在抽空隔热板（9）包围的膜（2）的绝缘芯（1）中的一个的气体压力。 该装置包括一个内置的绝缘板组件，其包括一个作为散热器的绝缘芯和包层膜（3）之间的（Al，钴，铁，陶瓷），其作用机构，其热导率和体积相关的热容量都大于绝缘芯的各自的尺寸，并与所述间 散热器和外壳膜布置样品层（4）（0.3 mm，非织造织物由塑料，玻璃纤维），其具有如在抽空隔热板的气体压力的函数而变化的定义的热导率。 设置在上方的在绝缘板抽真空，通过包装薄膜样品设备所覆盖被施加，从外部或-gepresst，一个主体上的传感器装置（5）（镀铜的钢，78 <0> C，热电偶，6）具有显著温度差给该取样装置（ 散热片），以使得通过根据热绝缘板上的测试层的热流的热导率内的气体压力的变影响造成的，其大小由测量来确定。 散热器（3）可以被设计为用于吸气剂材料的容器的底部。

公开(公告)号：WO2010021380A1

公开(公告)日：2010-02-25

申请号：PCT/JP2009/064658

申请日：2009-08-21

Applicant: 木村 光照

Inventor： 木村　光照

IPC: G01L21/14

CPC classification number: G01L21/14 ,  G01L9/0019 ,  G01L11/002

Abstract: 　単純な構造と回路構成で、極低気圧から1気圧以上の気圧も1つのセンサチップを用いて計測できる高帯域の気圧を高感度、高精度の（加熱励振を利用した）熱伝導型気圧センサを提供する。 　カンチレバ状の薄膜１０に、薄膜温度センサと加熱手段および励振手段を設けてあり、薄膜ヒータの加熱手段による間欠加熱時の薄膜を構成する主たる二層の熱膨張の違いに基づく反り曲がりを利用して励振手段にしたこと、主たる二層として熱膨張係数に非常に大きな差があるシリコン層とシリコン熱酸化膜を使用する。また、ゼーベック電流の所定時間の積分により高感度化する回路や気流の影響を抑制するキャップを具備することができる。

Abstract translation: 公开了一种用于高灵敏度和高精度测量高带宽气压的热传导式气压传感器（具有热激发），具有简单的结构和电路结构，可以测量极低气压范围内的大气压力 使用一个传感器芯片将压力压至1atm或更高。 导热式气压传感器包括设置有薄膜温度传感器的悬臂形薄膜（10），加热装置和激励装置。 励磁装置利用由作为加热装置的薄膜加热器间歇加热期间构成薄膜的两个主层之间的热膨胀差而进行弯曲和弯曲，并且两个主层是硅层和热氧化膜 的硅，其在热膨胀系数中彼此显着不同。 也可以提供通过塞贝克电流整合预定时间段来提高灵敏度的电路和能够抑制空气流的影响的盖。

公开(公告)号：WO2014134972A1

公开(公告)日：2014-09-12

申请号：PCT/CN2014/070039

申请日：2014-01-02

Applicant: 成都科瑞尔低温设备有限公司 ,  郭志成

Inventor： 郭志成

IPC: G01L21/14

CPC classification number: G01L21/14

Abstract: 一种真空度在线检测系统，包括数据显示模块、数据采集终端、真空度在线检测模块、真空在线检测密封塞；所述真空在线检测密封塞用于获取真空设备内的真空数据；所述真空度在线检测模块用于对真空在线检测密封塞获取的真空数据进行处理得到真空设备真空层的真空度；所述数据采集终端用于获取至少一个真空度在线检测模块送来的真空度数据，并根据该真空度数据与预设真空度参数的比较结果进行报警提示和/或输出控制真空设备关闭信号。该真空度在线检测系统实现对真空设备的真空度进行在线检测，可检测多个目标，有效起到安全隐患防范作用。

公开(公告)号：WO00054018A1

公开(公告)日：2000-09-14

申请号：PCT/IL2000/000140

申请日：2000-03-08

IPC: G01L21/12 ,  G01L21/14

CPC classification number: G01L21/12

Abstract: A wide-range pressure gauge for effecting gas pressure and vacuum pressure measurements having a housing in fluid communication with a vessel and a taut wire (12) suspended in the housing wherein the wire is heated to a constant temperature.

Abstract translation: 一种用于实现气体压力和真空压力测量的宽范围压力计，其具有与容器流体连通的壳体和悬挂在壳体中的拉紧丝线（12），其中线材被加热到恒定温度。

公开(公告)号：WO2021171648A1

公开(公告)日：2021-09-02

申请号：PCT/JP2020/029057

申请日：2020-07-29

Applicant: パナソニックＩＰマネジメント株式会社

Inventor： 平野　俊明 ,  柿田　健一 ,  河原崎　秀司 ,  大河　政文 ,  小島　真弥 ,  鍵本　優大

IPC: G01L21/14 ,  G08C17/00 ,  G08C17/02 ,  F16L59/065

Abstract: 真空断熱体(10)は、芯材(13)と、圧力を検出する圧力センサ(51)と、前記圧力センサ(51)による検出圧力を無線通信により送信する送信部(52)と、前記圧力センサ(51)及び前記送信部(52)に電力を供給する電力供給部(53)と、前記芯材(13)、前記圧力センサ(51)、前記送信部(52)及び前記電力供給部(53)を収容した内部が減圧されたガスバリア性を有する外被材(14)と、を備えている。

公开(公告)号：WO2013002180A1

公开(公告)日：2013-01-03

申请号：PCT/JP2012/066159

申请日：2012-06-25

Applicant: 株式会社MDイノベーションズ ,  株式会社ピュアロンジャパン ,  木村 光照 ,  石原 聖司

Inventor： 木村　光照 ,  石原　聖司

IPC: G01L9/12 ,  G01L9/04 ,  G01L21/00 ,  G01L21/14

CPC classification number: G01L27/002 ,  G01L9/04 ,  G01L9/12 ,  G01L21/14

Abstract: 　隔膜気圧計における標準圧室の真空を含む標準気圧の経時変化の問題を根本的に解決するために、隔膜気圧計の標準圧室の気圧が経時変化などで変動しても、標準圧室の標準気圧を計測し、この標準気圧が校正できる隔膜気圧計を提供する。　標準圧室を有する隔膜気圧計において、標準圧室内に熱型気圧センサを備え、その標準圧室内の気圧を常時または必要に応じて計測して、この計測した気圧を標準気圧として利用するようにした。熱伝導型センサとしてシリコン基板を利用し、絶対温度センサを備える。標準圧室の気圧を所望の気圧付近に調整することもできるようにする。

Abstract translation: 为了基本解决在隔膜气压计的标准压力室中包括真空的标准大气压力的时间依赖性变化的问题，提供了一种隔膜气压计，其中即使在标准压力室中的大气压力 隔膜气压计由于例如时间变化而波动，测量标准压力室中的标准大气压力并可以校准。 在具有标准压力室的隔膜气压计中，在标准压力室中配备有导热式气压传感器，并且恒定地测量标准压力室中的大气压力，或者根据需要测量的大气压力作为标准 气压。 导热式气压传感器使用硅衬底并包括绝对温度传感器。 标准压力室中的大气压力也可以调节到大约所需的大气压力。

公开(公告)号：WO2012111368A1

公开(公告)日：2012-08-23

申请号：PCT/JP2012/050593

申请日：2012-01-13

Applicant: 学校法人 東北学院 ,  木村 光照

Inventor： 木村　光照

IPC: G01F1/692 ,  G01F15/04 ,  G01L21/14

CPC classification number: G01F1/6965 ,  G01F1/6842 ,  G01F1/6845 ,  G01F1/692 ,  G01L11/002 ,  G01L19/0092 ,  G01L27/002

Abstract: 　流速、流量や気圧の計測で、その計測値への被測定流体温度、流体の種類の影響が無いように補正（校正）できる熱伝導型センサを提供し、この補正機能を備えた高感度、小型、単純構造かつ安価な熱型フローセンサと熱型気圧センサを提供する。　同一の空洞により基板から熱分離している少なくとも２個の薄膜を備え、一方の薄膜１０には、ヒータと温度センサとを具備し、他方の薄膜１２には、温度センサを備え、共に薄膜熱電対とする。薄膜１２は、薄膜１０のヒータ加熱により被測定流体を介してのみ熱せられるように近接配置する。流れが無い状態での所定の温度における標準流体と未知の被測定流体とで計測する薄膜１２とヒータ温度との温度差の情報、絶対温度情報などを基に、標準流体と未知の被測定流体との熱伝達率に係る量を校正回路手段で算出して比較し、真の流量や気圧などの物理的状態を表示できるように補正（校正）する。

Abstract translation: 提供一种导热型传感器，其能够进行校准（校正），使得在测量流速，流量和大气压力时消除了要测量的流体的温度和流体的种类对测量值的影响 。 还提供了具有校准功能的热式流量传感器和热式气压传感器，其具有高灵敏度，小尺寸，结构简单，成本低廉。 该导热型传感器设置有至少两个薄膜，其通过相同的空腔与基板热隔离，薄膜之一即薄膜（10）设置有加热器和 温度传感器和另一薄膜（12）设置有温度传感器，并且膜被设置为薄膜热电偶。 薄膜（12）靠近薄膜（10）设置，使得薄膜（12）仅通过来自薄膜（10）的加热器的热量仅经由待测流体加热。 基于薄膜（12）的温度与加热器温度之间的温差的信息，所述差异已经相对于标准流体和待测量的未知流体在预定温度下测量而没有流量，绝对值 温度信息等，借助于校正电路装置计算与标准流体的导热性和待测量的未知流体相关的量，并进行比较，并进行校准（校正），使得 可以显示真实的物理状态，如流量和气压。