公开(公告)号：WO2008089121A3

公开(公告)日：2008-12-18

申请号：PCT/US2008050963

申请日：2008-01-14

Applicant: HONEYWELL INT INC ,  HIGASHI ROBERT E

Inventor： HIGASHI ROBERT E

IPC: G01L21/10 ,  G01L11/00

CPC classification number: G01L21/10 ,  G01L11/002

Abstract: A system for determining a gas pressure or gauging a vacuum in a hermetically sealed enclosure. One or more heater structures and one or more temperature sensor structures situated on a substrate may be used in conjunction for measuring a thermal conductivity of a gas in the enclosure. Each heater has significant thermal isolation from each sensor structure. Electronics connected to each heater and sensor of their respective structures may provide processing to calculate the pressure or vacuum in the enclosure. The enclosure may contain various electronic components such as bolometers.

Abstract translation: 用于确定气密压力或测量密封外壳中的真空的系统。 位于基底上的一个或多个加热器结构和一个或多个温度传感器结构可以联合使用以测量外壳中的气体的热导率。 每个加热器都与每个传感器结构有很大的热隔离。 连接到各个结构的每个加热器和传感器的电子设备可以提供处理以计算外壳中的压力或真空。 外壳可能含有各种电子元件，如辐射热测量计。

公开(公告)号：WO2006065535A1

公开(公告)日：2006-06-22

申请号：PCT/US2005/043269

申请日：2005-11-29

Applicant: BROOKS AUTOMATION, INC. ,  ARNOLD, Paul, C. ,  CARMICHAEL, Larry, K. ,  RUTT, Paul, M.

Inventor： ARNOLD, Paul, C. ,  CARMICHAEL, Larry, K. ,  RUTT, Paul, M.

IPC: G01L21/10 ,  G01L21/30

CPC classification number: G01L21/30 ,  G01L21/10

Abstract: A method and apparatus for measuring gas pressure by combining an ionization gauge with at least one other vacuum sensor. Nonvolatile memory coupled to the vacuum gauge contains calibration parameters unique to each individual sensor based on factory calibration. The nonvolatile memory may contain calibration parameters for a heat-sensitive vacuum sensor to compensate for the temperature gradients generated by the ionization gauge. The calibration parameters are a function of calibration data determined when the ionization gauge is both on and off. The nonvolatile memory may store a window of measurement data of the vacuum gauge that is updated at predetermined time intervals and in response to an event, such as an error event, to aid in investigating the cause of vacuum gauge malfunction or failure.

Abstract translation: 一种通过将电离计与至少一个其它真空传感器组合来测量气体压力的方法和装置。 耦合到真空计的非易失性存储器包含基于工厂校准的每个单独传感器独有的校准参数。 非易失性存储器可以包含用于热敏真空传感器的校准参数，以补偿由电离计产生的温度梯度。 校准参数是电离计开启和关闭时确定的校准数据的函数。 非易失性存储器可以存储以预定时间间隔更新并响应诸如错误事件的事件的真空计的测量数据窗口，以帮助调查真空计故障或故障的原因。

公开(公告)号：WO99046605A1

公开(公告)日：1999-09-16

申请号：PCT/DE1999/000268

申请日：1999-02-01

IPC: G01D3/028 ,  G01F1/684 ,  G01F1/688 ,  G01L9/00 ,  G01L11/00 ,  G01L21/10 ,  G01P15/00 ,  G01P15/08 ,  G01P15/12

CPC classification number: G01L11/002 ,  G01D3/028 ,  G01F1/6845 ,  G01F1/6888 ,  G01L21/10 ,  G01P15/008 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/12

Abstract: The invention relates to a measuring device with at least one microsensor (5). The at least one microsensor has at least two chambers (20, 30) which are filled with a gas. Said chambers (20, 30) are interconnected by at least one channel (40) and are sealed off in such a way that they are outwardly gas-tight. A detection device (70) for detecting a gas stream flowing through the at least one channel (40) is provided, said gas stream being caused by different pressures being present in the chambers. The invention also relates to a method for producing an inventive microsensor.

Abstract translation: 本发明涉及一种测量装置与至少一个微传感器（5），其中测量设备下式成立：所述至少一个微传感器具有至少两个填充有气体腔室（20，30）; 腔室（20，30）由至少一个通道（40）相互连接; 腔室（20，30）是气密地在外面完成的其余部分; 并且提供了用于检测所述至少一个通道（40）的气体流，其气流来由于在腔室的各种通行的压力在中流动的电流的检测装置（70）。 此外，本发明涉及一种用于发明微型的制备方法。

公开(公告)号：WO03085369A8

公开(公告)日：2004-02-26

申请号：PCT/EP0302482

申请日：2003-03-11

Applicant: VA Q TEC AG ,  CAPS ROLAND

Inventor： CAPS ROLAND

IPC: G01L21/14 ,  G01L21/10 ,  G01M3/00 ,  G01N25/18 ,  F16L59/06 ,  G01M3/26

CPC classification number: G01L21/10 ,  G01M3/002 ,  G01N25/18

Abstract: The invention relates to the determination of the gas pressure in an evacuated thermal insulating board (9) having an insulating core (1) covered by a film (2). The inventive device comprises an assembly, which is integrated between the insulating core and the covering film of the thermal insulating board and which has a body that acts as a heat sink (3) (Al, Co, Fe, ceramic), and the body's thermal conductivity and thermal capacity relative to volume are greater than those of the insulating core. Said assembly also comprises a test layer (4) (0.3 mm nonwoven fabric made of plastic and glass fibers), which is arranged between the heat sink and the covering film and has a defined thermal conductivity that changes according to the gas pressure inside the evacuated thermal insulating board. From the exterior, a sensor device is applied to or pressed against the test device, which is placed inside the evacuated thermal insulating board and which is covered by the covering film. Said sensor device comprises a body (5) (coppered steel 78 DEG C, thermoelement (6)) having a distinctly different temperature than that of the test device (heat sink) whereby creating a heat flux, which is influenced by the thermal conductivity of the test layer, said thermal conductivity varying according to the gas pressure inside the thermal insulating board, and the magnitude of this heat flux is metrologically determined. The heat sink (3) can be provided in the form of a bottom part of a container for a getter material.

Abstract translation: 确定在抽空隔热板（9）包围的膜（2）的绝缘芯（1）中的一个的气体压力。 该装置包括一个内置的绝缘板组件，其包括一个作为散热器的绝缘芯和包层膜（3）之间的（Al，钴，铁，陶瓷），其作用机构，其热导率和体积相关的热容量都大于绝缘芯的各自的尺寸，并与所述间 散热器和外壳膜布置样品层（4）（0.3 mm，非织造织物由塑料，玻璃纤维），其具有如在抽空隔热板的气体压力的函数而变化的定义的热导率。 设置在上方的在绝缘板抽真空，通过包装薄膜样品设备所覆盖被施加，从外部或-gepresst，一个主体上的传感器装置（5）（镀铜的钢，78 <0> C，热电偶，6）具有显著温度差给该取样装置（ 散热片），以使得通过根据热绝缘板上的测试层的热流的热导率内的气体压力的变影响造成的，其大小由测量来确定。 散热器（3）可以被设计为用于吸气剂材料的容器的底部。

公开(公告)号：WO1996008705A1

公开(公告)日：1996-03-21

申请号：PCT/US1995011574

申请日：1995-09-13

Applicant: TELEDYNE INDUSTRIES, INC.

Inventor： TELEDYNE INDUSTRIES, INC. ,  JACOBS, David, C. ,  ALVESTEFFER, William, J.

IPC: G01L21/12

CPC classification number: G01L21/10 ,  G01L21/12

Abstract: A miniaturized silicon based thermally controlled vacuum sensor (10) uses thin film resistors (not shown) on a membrane (20) in a minute measuring chamber (14) to accurately detect vacuum pressures in the range of 760 Torr to 1 x 10 Torr. The configurations of the measuring chamber (14) and gas diffusion port (19) of the sensor structure insure that heat transfer from the membrane (20) is predominantly conductive over the pressure detection range to provide linear output up to 0.1 Torr. A microprocessor (not shown) is used to control and measure power required to maintain a predetermined temperature differential between a sensing resistive element (not shown) on the membrane and an ambient temperature sensing element (not shown) of the sensor base (12) from analog voltage and current values. Pressure detection errors introduced by ambient temperature variations are minimized by measuring power dissipated into the gas. Analog and digital converters for both current and voltage signals use a SIGMA - DELTA conversion method to reject electrical noise by an averaging technique to produce stable signal detection of pressure down to 1 x 10 Torr. The sensor is thermally stable over an ambient temperature range of 0-50 DEG C at pressures between 10 to 760 Torr.

Abstract translation: 微型硅基热控制真空传感器（10）使用微小测量室（14）中的膜（20）上的薄膜电阻器（未示出），以精确地检测在760Torr至1×10 -3的范围内的真空压力， 5> Torr。 传感器结构的测量室（14）和气体扩散端口（19）的结构确保了在压力检测范围内，来自膜（20）的热传导主要是导电的，以提供高达0.1托的线性输出。 微处理器（未示出）用于控制和测量在膜上的感测电阻元件（未示出）和传感器基座（12）的环境温度感测元件（未示出）之间保持预定温度差异所需的功率， 模拟电压和电流值。 通过测量耗散到气体中的功率，使环境温度变化引起的压力检测误差最小化。 用于电流和电压信号的模拟和数字转换器使用SIGMA-DELTA转换方法通过平均技术来抑制电噪声，以产生低至1×10 -5乇的稳定信号检测。 该传感器在0-4℃的环境温度范围内，在10-4A至760Torr之间的压力下是热稳定的。

公开(公告)号：WO2015148005A3

公开(公告)日：2015-12-03

申请号：PCT/US2015015810

申请日：2015-02-13

Applicant: MKS INSTR INC

Inventor： GU LEI ,  BART STEPHEN F ,  WENZEL OLE

IPC: G01L21/12

CPC classification number: G01L21/12 ,  G01L21/10

Abstract: Micro-Pirani gauge vacuum gauges are described that use low-thermal conductivity support elements. A micro-Pirani gauge or vacuum sensor can include a heating element operative to heat a gas and to produce a signal corresponding to the pressure of the gas; a platform configured to receive the heating element, with the platform having a first coefficient of thermal conductivity; and a support element connected to a substrate and configured to support the platform with the heating element within an aperture disposed in the substrate, with the support element having a second coefficient of thermal conductivity, where the second coefficient of thermal conductivity is less than the first coefficient of thermal conductivity. Multimode pressure sensing including a micro-Pirani gauge are also described.

Abstract translation: 描述了使用低导热性支撑元件的微皮拉尼真空计。 微型Pirani测量仪或真空传感器可以包括加热元件，其操作用于加热气体并产生对应于气体压力的信号; 平台，其被配置为接收所述加热元件，所述平台具有第一导热系数; 以及支撑元件，其连接到基板并且被配置为将所述平台与所述加热元件支撑在设置在所述基板内的孔内，所述支撑元件具有第二导热系数，其中所述第二导热系数小于所述第一导热系数 导热系数。 还描述了包括微型Pirani压力计的多模式压力感测。

公开(公告)号：WO2008053729A1

公开(公告)日：2008-05-08

申请号：PCT/JP2007/070528

申请日：2007-10-22

Applicant: 株式会社メムス・コア ,  慶光院 利映 ,  本間 孝治

Inventor： 慶光院 利映 ,  本間 孝治

IPC: G01L11/00 ,  G01F1/696 ,  G01L21/10 ,  G01N25/18

CPC classification number: G01N25/18 ,  G01F1/6845 ,  G01F1/696 ,  G01L21/10

Abstract: 被測定対象となるガスに表面が熱的に接する半導体層（１３）と、半導体層（１３）を加熱するヒータ（１３１）と、半導体層（１３）の上部に埋め込まれ、ヒータ（１３１）による加熱前後の半導体層（１３）の温度を検出する温度検出素子（Ｄ１）とを備え、加熱前後の半導体層（１３）の温度差から、ガスのガス種、圧力、又は流量を測定するセンサである。

Abstract translation: 本发明提供一种传感器，用于从加热前后的半导体层（13）的温度差来测量气体种类，压力或流速。 传感器包括具有与要测量的目标气体热接触的表面的半导体（13），用于加热半导体层（13）的加热器（131）和嵌入在该半导体层中的温度检测元件（D1） 半导体层（13）的上部，用于在加热器（131）加热之前和之后检测半导体层（13）的温度。

公开(公告)号：WO2003085369A1

公开(公告)日：2003-10-16

申请号：PCT/EP2003/002482

申请日：2003-03-11

Applicant: VA-Q-TEC AG ,  CAPS, Roland

Inventor： CAPS, Roland

IPC: G01L21/10

CPC classification number: G01L21/10 ,  G01M3/002 ,  G01N25/18

Abstract: Die Erfindung richtet sich auf eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Bestimmung des Gasdruckes in einer evakuierten Wärmedämmplatte (9) mit einem von einer Folie (2) umhüllten Dämmkern (1). die erfindungsgemässe Vorrichtung umfasst eine zwischen Dämmkern und Umhüllungsfolie der Wärmedämmplatte eingebaute Anordnung mit einem als Wärmesenke (3) (AL, Co, Fe, Keramik) wirkenden Körper, dessen Wärmeleitfähigkeit und volumenbezogene Wärmekapazität grösser sind als die betreffenden Grössen des Dämmkerns, und mit einer zwischen der Wärmesenke und der Umhüllungsfolie angeordneten Probeschicht (4) (0,3mm Faservliese aus Kunstoff, Glasfasern) mit einer definierten Wärmeleitfähigkeit, die sich als Funktion des Gasdruckes in der evakuierten Wärmedämmplatte. über der in der evakuierten Wärmedämmplatte angeordneten, von der Umhüllungsfolie abgedeckten Probevorrichtung von aussen eine Sensoreinrichtung angelegt oder -gepresst, die einen Körper (5) (verkupferter Stahl, 78 0 C Thermoelement 6) mit einer deutlichen Temperaturdifferenz zu der Probevorrichtung (Wärmesenke aufweist, so dass ein von dem in Abhängigkeit von dem Gasdruck im Inneren der Wärmedämmplatte variierenden Wärmeleitfähigkeit der Probeschicht beeinflusster Wärmestrom hervorgerufen wird, dessen Grösse messtechnisch erfasst wird. Die Wärmeseke (3) kann als Bodenteil eines Behälters Für ein Gettermaterial ausgebildet sein.

Abstract translation: 本发明涉及的气体压力的确定在真空管隔热板（9）在绝缘芯具有（1）覆盖的膜（2）。 该绝缘芯和覆盖薄膜的热绝缘板和它们之间集成根据本发明的设备组件的包括，所有具有主体做充当散热器（3）（铝，钴，铁，陶瓷），和身体的 热导率和相对于体积的热容量比绝缘芯的更大。 因此，所述组件包括测试层（4）（0.3毫米由塑料和玻璃纤维的非织造织物），所有这些在散热器和所述覆盖膜之间设置与已定义的热导率做了雅丁到真空管内的气体的压力变化 隔热板。 从外观上看，一个传感器装置应用于或针对测试装置，所有这一切都被抽真空的热绝缘板内放置并且所有这一切都被覆盖电影覆盖按压。 所述传感器装置包括一个主体（5）（镀铜钢78℃，热电偶（6）），具有明显不同的温度比所述测试装置（散热器），由此创建的热通量，所有这是由热导率的影响 测试层，所述热传导性变化的雅丁到热绝缘板内的气体压力，并且该热通量的大小为计量学确定的开采。 散热器（3）可在用于吸气材料的容器的底部部分的形式提供。

公开(公告)号：WO2015148005A2

公开(公告)日：2015-10-01

申请号：PCT/US2015/015810

申请日：2015-02-13

Applicant: MKS INSTRUMENTS, INC.

Inventor： GU, Lei ,  BART, Stephen F. ,  WENZEL, Ole

IPC: G01L21/12

CPC classification number: G01L21/12 ,  G01L21/10

Abstract: Micro-Pirani gauge vacuum gauges are described that use low-thermal conductivity support elements. A micro-Pirani gauge or vacuum sensor can include a heating element operative to heat a gas and to produce a signal corresponding to the pressure of the gas; a platform configured to receive the heating element, with the platform having a first coefficient of thermal conductivity; and a support element connected to a substrate and configured to support the platform with the heating element within an aperture disposed in the substrate, with the support element having a second coefficient of thermal conductivity, where the second coefficient of thermal conductivity is less than the first coefficient of thermal conductivity. Multimode pressure sensing including a micro-Pirani gauge are also described.

Abstract translation: 描述了使用低热导率支撑元件的Micro-Pirani真空计真空计。 微皮拉尼计或真空传感器可包括加热元件，其可操作以加热气体并产生对应于气体压力的信号; 配置成接收加热元件的平台，其中平台具有第一导热系数; 以及支撑元件，所述支撑元件连接到衬底并且被配置为用设置在所述衬底中的孔内的所述加热元件支撑所述平台，所述支撑元件具有第二导热系数，其中所述第二导热系数小于所述第一导热系数 导热系数。 还介绍了包括微Pirani测量仪在内的多模式压力传感。

公开(公告)号：WO2011119562A1

公开(公告)日：2011-09-29

申请号：PCT/US2011/029364

申请日：2011-03-22

Applicant: CARDINALE, Dennis

Inventor： CARDINALE, Dennis

IPC: G01L9/00

CPC classification number: G01L21/12 ,  G01L19/147 ,  G01L21/10 ,  G01L27/005 ,  G01L27/007

Abstract: An electronic thermistor-based vacuum gauge and systems and methods of calibration and operation of the same that require no calibration against a known vacuum standard to obtain high accuracy through broad vacuum and ambient temperature ranges. Additional features of the invention include a construction and method of improving battery life, a construction and method of detecting faulty vacuum sensors, a method for determining the state of calibration of a vacuum sensor, a method of quantifying vacuum leak rates, and a method of automatically alerting an operator when an evacuation process has concluded.

Abstract translation: 一种基于电子热敏电阻的真空计及其校准和操作的系统和方法，其不需要对已知真空标准进行校准，以通过宽的真空和环境温度范围获得高精度。 本发明的附加特征包括提高电池寿命的结构和方法，检测故障真空传感器的结构和方法，确定真空传感器的校准状态的方法，定量真空泄漏率的方法以及方法 在撤离过程结束时自动提醒操作人员。