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公开(公告)号：WO2022267278A1
公开(公告)日：2022-12-29
申请号：PCT/CN2021/125669
申请日：2021-10-22
申请人： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
摘要： 一种直线驱动装置及直线驱动装置系统误差的校正方法，该直线驱动装置包括定组件(1)、动组件(2)、第一力传感器(3)和第二力传感器(4)。动组件(2)可活动地连接于定组件(1)的一端，且动组件(2)能够沿靠近或远离定组件(1)的方向移动。第一力传感器(3)设于定组件(1)远离动组件(2)的一端，以用于检测由定组件(1)朝向动组件(2)作用于第一力传感器(3)的作用力。第二力传感器(4)设于动组件(2)远离定组件(1)的一端，以用于检测由动组件(2)朝向定组件(1)作用于第二力传感器(4)的作用力。该直线驱动装置通过第一力传感器(3)检测得到定组件(1)受到固定物的反作用力，从而可以计算出使得第二力传感器(4)和动组件(2)产生加速度的实际的力的大小，从而消除了系统误差。
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公开(公告)号：WO2022152670A1
公开(公告)日：2022-07-21
申请号：PCT/EP2022/050393
申请日：2022-01-11
IPC分类号： G01P15/12 , B81B7/00 , G01L1/18 , H01L23/367 , H01L41/02
摘要： L'invention est relative à un dispositif de détection à transduction comprenant un substrat (1), au moins une masse mobile (2) relativement au substrat et une jauge de contrainte suspendue dotée d'un élément piézorésistif (3) qui comprend un premier ancrage (31) et un deuxième ancrage (32), différent du premier ancrage (31), relativement à la masse mobile (2), caractérisé en ce qu'il comprend au moins un élément dissipateur thermique (5) raccordé de manière thermiquement conductrice : à une portion de raccordement de l'élément piézorésistif (3) située en dehors des ancrages (31, 32), et à une partie d'évacuation thermique.
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公开(公告)号：WO2020195386A1
公开(公告)日：2020-10-01
申请号：PCT/JP2020/006639
申请日：2020-02-19
申请人： パナソニックIPマネジメント株式会社
IPC分类号： G01P15/08 , G01P15/12 , G01P15/18 , G01C19/574
摘要： センサ特性の変化を抑制することが可能な物理量センサを提供する。物理量センサ（１）は、基板（２）と、アンカー部（３）と、囲繞部（４）と、検出部と、可動部（６）と、梁部（７）と、を備える。アンカー部（３）は、基板（２）の主面（２１）側に位置しており、基板（２）に固定されている。囲繞部（４）は、基板（２）の主面（２１）側に位置しており、アンカー部（３）を囲んでいる。検出部は、検出対象の物理量を検出する。可動部（６）は、検出部の少なくとも一部が設けられており、基板（２）の主面（２１）側に位置し囲繞部（４）につながっている。梁部（７）は、基板（２）の主面（２１）側に位置しており、アンカー部（３）と囲繞部（４）とをつないでいる。
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公开(公告)号：WO2018147158A1
公开(公告)日：2018-08-16
申请号：PCT/JP2018/003368
申请日：2018-02-01
申请人： パナソニックIPマネジメント株式会社
发明人： 中吉 鷹一
摘要： 加速度センサは、センサ素子とチャージポンプとリップル周波数調整部とを備える。チャージポンプは、制御クロックにより動作して直流電圧を昇圧して、リップルを含む昇圧電圧を発生してセンサ素子の故障診断電極に供給する。リップル周波数調整部はリップルの周波数を実質的に一定にする。もしくは、リップル周波数調整部は、リップルの周波数を少なくとも２つの周波数にできてもよい。この加速度センサは正確に故障を検出することができる。
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公开(公告)号：WO2017164052A1
公开(公告)日：2017-09-28
申请号：PCT/JP2017/010570
申请日：2017-03-16
申请人： パナソニックIPマネジメント株式会社
发明人： 塚本 和磨
IPC分类号： G01C19/5776 , G01P15/08 , G01P15/12 , G01P15/18 , G01P21/00
摘要： 複合センサは、印加された角速度に応じてセンス信号を出力する角速度検出素子と、センス信号に基づいて角速度を示す角速度信号を出力するセンス回路と、印加された加速度に応じた信号を出力する加速度検出素子と、加速度検出素子から出力された信号に基づいて加速度を示す加速度信号を出力する加速度検出回路と、加速度信号が入力されるバンドパスフィルターと、バンドパスフィルターから出力された信号の振幅に応じて角速度信号が無効か否かを判定する振幅判定回路と、角速度信号と加速度信号とを含むセンサ出力信号を出力するタイミング制御回路とを備える。
摘要翻译： 复合传感器包括：角速度检测元件，用于根据所施加的角速度输出感测信号;感测电路，用于输出指示基于感测信号的角速度的角速度信号;施加的加速度 一种加速度检测电路，用于基于从加速度检测元件输出的信号输出指示加速度的加速度信号，输入加速度信号的带通滤波器，带通滤波器 以及用于输出包括角速度信号和加速度信号的传感器输出信号的定时控制电路。
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公开(公告)号：WO2014203525A1
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：PCT/JP2014/003258
申请日：2014-06-17
申请人： 旭化成エレクトロニクス株式会社
CPC分类号： H03F1/56 , G01P3/44 , G01P3/487 , G01P15/12 , G01P15/123 , G01R27/02 , H03F3/45071 , H03F3/45475 , H03F3/45932 , H03F2200/261 , H03F2200/294 , H03F2200/504 , H03F2200/555 , H03F2203/45138 , H03F2203/45336 , H03F2203/45528 , H03F2203/45591 , H03F2203/45592
摘要： 本発明は、ノイズ成分を低減して高ＳＮ比や低ノイズかつ小面積となる増幅回路及び増幅回路ＩＣチップに関する。増幅回路（１００）は、所定の物理量を抵抗値に変換する変換部（７０）を備え、変換部（７０）により変換された抵抗値を電圧値に変換して増幅するように構成される。変換部（７０）は、ピエゾ抵抗素子からなる可変抵抗型センサ（７１，７２）を備える。バイアス部（８０）は、変換部（７０）のバイアス電流を決定するもので、バイアス抵抗（８１，８２）を備える。演算増幅部（９０）は、バイアス部（８０）と変換部（７０）に基づく出力信号を入力信号とし、第１の演算増幅器（１０１）の入出力端に接続されるフィードバック抵抗（９１，９２）を備え、第１の演算増幅器（１０１）は、コモンモードフィードバック回路を備えた全差動演算増幅器である。
摘要翻译： 本发明涉及一种降低噪声分量的低噪声，小尺寸因子放大器电路和放大器电路芯片，产生较高的信噪比。 设置有将规定物理量转换为电阻值的转换单元（70）的所述放大电路（100）被设计为将来自转换单元（70）的电阻值转换为电压值并放大 相同。 转换单元（70）设置有包括压阻元件的可变电阻传感器（71,72）。 确定流经转换单元（70）的偏置电流的偏置单元（80）设置有偏置电阻（81,82）。 使用基于偏置单元（80）和转换单元（70）的输出信号作为运算放大器单元（90）的输入信号，该运算放大器单元设置有连接到输入端的反馈电阻（91,92） 第一运算放大器（101）的输出端子。 所述第一运算放大器（101）是具有共模反馈电路的全差分运算放大器。
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公开(公告)号：WO2014092040A1
公开(公告)日：2014-06-19
申请号：PCT/JP2013/082931
申请日：2013-12-09
申请人： 株式会社村田製作所
CPC分类号： G01P15/0888 , G01P15/123 , G01P15/18 , H01L29/84
摘要： 広い検出帯域と高いＳ／Ｎ比とを両立させることができる角加速度センサおよび加速度センサを提供する。角加速度センサ（１０）は、Ｘ－Ｙ面に沿う平板面を有し、固定部（１２）と、錘部（１３）と、梁部（１４）と、ピエゾ抵抗素子（１５Ａ～１５Ｄ）と、を備える。錘部（１３）は、固定部（１２）に対して支持されている。梁部（１４）は、Ｙ軸に沿って延伸しており、固定部（１２）と錘部（１３）とに接続されている。梁部（１４）は、Ｚ軸方向に貫通する貫通孔（２７Ａ～２７Ｄ）と、Ｘ軸方向に突出する幅方向凸部（２８Ａ，２８Ｂ）と、を備える。ピエゾ抵抗素子（１５Ａ～１５Ｄ）は、Ｙ軸方向での位置が貫通孔（２７Ａ～２７Ｄ）と重なり、幅方向凸部（２８Ａ，２８Ｂ）からずれている。
摘要翻译： 提供了能够建立宽检测区域和高信噪比（S / N）比的角加速度传感器和加速度传感器。 角加速度传感器（10）具有跟随XY平面的平板表面，并且设置有固定部分（12），重量部分（13），梁部分（14）和压阻元件（15A至15D ）。 重物部分（13）为固定部分（12）提供支撑。 梁部分（14）沿着Y轴延伸，并连接到固定部分（12）和重量部分（13）。 梁部分（14）设有穿透Z轴方向的通孔（27A〜27D）和沿X轴方向突出的宽度方向突起（28A，28B）。 压电元件（15A〜15D）在Y轴方向上的位置与通孔（27A〜27D）重叠，并且与宽度方向突起（28A，28B）偏移。
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公开(公告)号：WO2014092039A1
公开(公告)日：2014-06-19
申请号：PCT/JP2013/082930
申请日：2013-12-09
申请人： 株式会社村田製作所
CPC分类号： B81B3/0051 , B81B3/0021 , B81B2201/0235 , G01P15/0888 , G01P15/123 , H01L29/84
摘要： 広い検出帯域と高いＳ／Ｎ比とを両立させることができる角加速度センサおよび加速度センサを提供する。角加速度センサ（１０）は、Ｘ－Ｙ面に沿う平板面を有し、固定部（１２）と、錘部（１３）と、梁部（１４）と、ピエゾ抵抗素子（１５Ａ～１５Ｄ）と、を備える。錘部（１３）は、固定部（１２）に対して支持されている。梁部（１４）は、Ｙ軸に沿って延伸しており、固定部（１２）と錘部（１３）とに接続されている。梁部（１４）におけるＸ軸方向の幅寸法は、梁部（１４）と固定部（１２）との接続部（１２Ｂ）における幅寸法よりも大きい。
摘要翻译： 提供了能够建立宽检测区域和高信噪比（S / N）比的角加速度传感器和加速度传感器。 角加速度传感器（10）具有跟随XY平面的平板表面，并且设置有固定部分（12），重量部分（13），梁部分（14）和压阻元件（15A至15D ）。 重物部分（13）为固定部分（12）提供支撑。 梁部分（14）沿着Y轴延伸，并连接到固定部分（12）和重量部分（13）。 梁部在X轴方向上的宽度尺寸大于梁部（14）和固定部（12）的连接部（12B）的宽度尺寸。
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公开(公告)号：WO2014088021A1
公开(公告)日：2014-06-12
申请号：PCT/JP2013/082546
申请日：2013-12-04
申请人： 株式会社村田製作所
发明人： 永山大地
CPC分类号： G01P15/123 , B81B3/0072 , B81B7/0048 , B81B7/02 , B81B2201/0235 , B81C1/00325 , G01P1/023
摘要： 加速度センサ素子（１００）がパッケージングされることにより加速度センサとなる。加速度センサ素子（１００）は、錘部（１１）と、この錘部（１１）を囲む枠形状の基体部（１２）と、基体部（１２）に対して錘部（１１）を支持する梁部（１３）と、梁部（１３）に形成された歪み検出部（１４）とを備えている。基体部（１２）は４つの枠辺（１２Ｓａ，１２Ｓｂ，１２Ｓｃ，１２Ｓｄ）を備えている。実装先基板の実装面（ＭＳ）に加速度センサ素子（１００）の枠辺（１２Ｓｃ）が対向する関係で加速度センサは実装される。すなわち、加速度センサ素子（１００）の梁部（１３）は実装面とは反対側の枠辺（１２Ｓａ）に形成されている。
摘要翻译： 加速度传感器元件（100）被封装以形成加速度传感器。 所述加速度传感器元件（100）具有配重部（11），围绕所述配重部（11）的框状的基部（12），与所述配重部（11）支承的梁部（13） 到所述基部（12），以及形成在所述梁部（13）中的变形检测部（14）。 基部（12）设有四个框架边缘（12Sa，12Sb，12Sc，12Sd）。 加速度传感器被安装成使得加速度传感器元件（100）的框架边缘（12Sc）面向要安装加速度传感器的板的安装表面（MS）。 具体地说，加速度传感器元件（100）的梁部（13）形成在远离安装面的框架边缘（12Sa）中。
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公开(公告)号：WO2014077299A1
公开(公告)日：2014-05-22
申请号：PCT/JP2013/080742
申请日：2013-11-14
申请人： 株式会社村田製作所
发明人： 市丸正幸
CPC分类号： G01P15/0922 , G01P15/123
摘要： 角加速度センサ（１０）は平板面を有し、固定部（１２）と錘部（１３）と梁部（１４）とを備える。錘部（１３）は、平板面においてＸ軸負方向に凹む凹部（１３Ａ）を有している。固定部（１２）は、平板面においてＸ軸負方向に突出し、凹部（１３Ａ）に対向する凸部（１２Ａ）と、凸部（１２Ａ）に隣接する位置からＸ軸正方向に陥入するスリット（１８Ａ）とを有している。梁部（１４）は、平板面においてＹ軸に沿って延伸し、凹部（１３Ａ）と凸部（１２Ａ）との間に接続され、固定部（１２）に対して変位可能に錘部（１３）を支持する。
摘要翻译： 一种具有平坦表面并包括固定部分（12），重量部分（13）和梁部分（14）的角加速度传感器（10）。 配重部（13）具有在平面内在X轴负方向上凹陷的凹部（13A）。 固定部（12）具有突出部（12A），其在平面内的X轴负方向突出并与凹部（13A）相对，并且在X轴正方向上贯穿的狭缝（18A） 从与突出部分（12A）相邻的位置。 梁部分（14）沿着平面表面的Y轴延伸，连接在凹部（13A）和突出部分（12A）之间，并且支撑重物部分（13）以相对于固定 第（12）节。
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