制造液体排出头的方法以及液体排出头
摘要:
根据本发明,提供有一种能够进行高精度打印和记录及具有高可靠性的喷墨记录头、和一种制造该头的方法。本发明的喷墨记录头包括:元件基片,在其表面上形成墨水排出能量产生元件,并且其由硅制成;和薄且扁平的无机基片,其中在墨水排出能量产生元件的上方垂直布置的部分中形成墨水排出端口。此外,该头包括感光材料层,该感光材料层把元件基片粘结到无机基片上并且要构成形成墨水流动路径的壁,该墨水流动路径与墨水排出端口连通。无机基片层叠在设有感光材料层的元件基片上,并且此后设有墨水排出端口。
公开/授权文献
0/0