制造液体排出头的方法以及液体排出头

    公开(公告)号:CN100469580C

    公开(公告)日:2009-03-18

    申请号:CN200510128605.X

    申请日:2005-11-22

    IPC分类号: B41J2/16 G03F7/20 B41J2/135

    摘要: 根据本发明,提供有一种能够进行高精度打印和记录及具有高可靠性的喷墨记录头、和一种制造该头的方法。本发明的喷墨记录头包括:元件基片,在其表面上形成墨水排出能量产生元件,并且其由硅制成;和薄且扁平的无机基片,其中在墨水排出能量产生元件的上方垂直布置的部分中形成墨水排出端口。此外,该头包括感光材料层,该感光材料层把元件基片粘结到无机基片上并且要构成形成墨水流动路径的壁,该墨水流动路径与墨水排出端口连通。无机基片层叠在设有感光材料层的元件基片上,并且此后设有墨水排出端口。

    制造液体排出头的方法
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102770273B

    公开(公告)日:2014-12-24

    申请号:CN201180010907.0

    申请日:2011-03-28

    IPC分类号: B41J2/16 B41J2/05

    摘要: 一种制造液体排出头的方法,所述液体排出头具有与用于排出液体的排出口相连通的流路,该方法按下述顺序包括:准备基板,该基板具有作为平坦层的平坦地设置的第一层;由第一层形成流路的图案以及构件(A),该图案用于形成流路,构件(A)与图案之间隔着间隙设置于图案的外侧;设置第二层,该第二层填充间隙并覆盖图案和构件(A);在图案上方由第二层形成用于形成排出口的构件(B);去除构件(A),至少在基板上设置保持与构件(B)密切接触的第三层;以及去除图案以形成流路。