无热阵列波导光栅的应力补偿方法及其光栅
Abstract:
一种无热阵列波导光栅的应力补偿方法,其特征在于:在AWG芯片上沿着阵列波导的方向,或者沿着部分阵列波导的方向,选择两个力点,在AWG芯片的平面内施加拉力或张力,对AWG的阵列波导处施加压应力或张应力。它加工和制作简单,成本低,阵列波导光栅可靠性和重复性好,有利于批量生产。
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