发明授权
CN101383310B 用于生产线的管理系统和管理方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 用于生产线的管理系统和管理方法
- 专利标题(英): Production line management system and method
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申请号: CN200810212539.8申请日: 2002-10-30
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公开(公告)号: CN101383310B公开(公告)日: 2010-09-01
- 发明人: 山崎舜平
- 申请人: 株式会社半导体能源研究所
- 申请人地址: 日本神奈川县厚木市
- 专利权人: 株式会社半导体能源研究所
- 当前专利权人: 株式会社半导体能源研究所
- 当前专利权人地址: 日本神奈川县厚木市
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 王丹昕
- 优先权: 2001-331971 2001.10.30 JP
- 分案原申请号: 021481326 2002.10.30
- 主分类号: H01L21/673
- IPC分类号: H01L21/673 ; H01L21/00 ; G05B19/418
摘要:
本发明涉及用于生产线的管理系统和管理方法,具体用于构造一个CIM系统,该系统能够减轻计算机主机的负担,并且能够由基片单元通知加工条件以及由基片单元通知工作的一条启动指令。本发明中,在每个生产装置里而不是在一个计算机主机里,对应用于每个基片的一个加工工艺进行管理。一个或多个被编号的加工工艺被存储在每个生产装置中。通过上述结构,即使对一个加工工艺的制定和一个生产装置工作的一条指令通过基片单元而不是通过载体单元来管理,也由于没有必要在该计算机主机中处理用于每个基片的一个加工方法的具体内容,从而可以减轻该计算机主机的负担。
公开/授权文献
- CN101383310A 用于生产线的管理系统和管理方法 公开/授权日:2009-03-11