具有晶体管及电容的单栅极非易失存储单元及其制造方法
摘要:
本发明公开了一种具有晶体管及电容的单栅极非易失存储单元及其制造方法,以及一种具有一半导体衬底以及在该半导体衬底上具有一非易失存储装置的非易失存储集成电路。该装置具有一晶体管及一电容器在该半导体衬底上,以及一共享浮动栅极连接该晶体管及该电容器的该栅极区域。该晶体管具有至少一掺杂区域定义该源极及漏极区域,以及其它三个掺杂区域覆盖该源极及漏极区域。本发明也揭露具有多重此类非易失存储装置的一非易失存储电路,以及制造具有一者以上此类非易失存储装置的该非易失集成电路的方法。
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