发明授权
CN101567394B 一种垂直环绕栅结型场效应晶体管、制作方法及应用
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种垂直环绕栅结型场效应晶体管、制作方法及应用
- 专利标题(英): Vertical surrounding grid junction type field effect transistor, preparation method and applications thereof
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申请号: CN200910052205.3申请日: 2009-05-27
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公开(公告)号: CN101567394B公开(公告)日: 2011-04-20
- 发明人: 杨恒 , 成海涛 , 戴斌 , 吴燕红 , 李昕欣 , 王跃林
- 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 申请人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 代理机构: 上海智信专利代理有限公司
- 代理商 潘振甦
- 主分类号: H01L29/808
- IPC分类号: H01L29/808 ; B81B7/02 ; B81C1/00 ; H01L21/337 ; G01B7/02
摘要:
本发明涉及一种垂直环绕删结型场效应晶体管、制作方法及应用。所述的场效应管包括源区、漏区、环绕栅、敏感栅、沟道以及源漏区压焊块或金属引线组成,其中源区和漏区通过沟道连接,敏感栅和环绕栅相连,环绕栅包围沟道的上、左、右三面,沟道是垂直的;沟道与环绕栅形成一个Pn结;源、漏区通过压焊块或金属引线与外电路实现电学连接。所述的场效应晶体管与敏感结构制作在SOI硅片的顶层硅上,采用微机械加工方法同时制成。通过电容耦合实现对敏感结构的位移检测。
公开/授权文献
- CN101567394A 一种垂直环绕栅结型场效应晶体管、制作方法及应用 公开/授权日:2009-10-28
IPC分类: