发明授权
- 专利标题: 氯硅烷液的收纳容器及该收纳容器用封闭盖
- 专利标题(英): Storage container for liquid chlorosilane and closing lid therefor
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申请号: CN200910167402.X申请日: 2009-08-12
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公开(公告)号: CN101649957B公开(公告)日: 2012-11-28
- 发明人: 佐佐木刚 , 伊藤孝则
- 申请人: 三菱麻铁里亚尔株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 三菱麻铁里亚尔株式会社
- 当前专利权人: 三菱麻铁里亚尔株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 严志军; 杨楷
- 优先权: 2008-208320 2008.08.13 JP
- 主分类号: F17C1/10
- IPC分类号: F17C1/10 ; F17C13/04 ; F17C13/06
摘要:
本发明的氯硅烷液的收纳容器具有收纳所述氯硅烷液的箱、安装在所述箱上并且外部的配管可装卸地连接到其上的阀、以及在所述外部的配管从所述阀脱离时密封所述阀的封闭盖。所述阀具有壳以及设在所述壳中的阀体。所述封闭盖具备:具有与所述连接法兰的所述连接面相接的封闭面的盖体、用于将惰性气体供给至所述封闭盖和所述阀体之间的所述壳内的空间中的供给管、开闭所述供给管的供给阀、从所述空间排出气体的排气管和开闭所述排气管的排气阀。
公开/授权文献
- CN101649957A 氯硅烷液的收纳容器及该收纳容器用封闭盖 公开/授权日:2010-02-17
IPC分类: