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公开(公告)号：CN101649957B
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN200910167402.X
申请日：2009-08-12
申请人： 三菱麻铁里亚尔株式会社
CPC分类号： F16K5/0631 , F16K27/067 , Y10T137/4238 , Y10T137/5109 , Y10T137/5283
摘要： 本发明的氯硅烷液的收纳容器具有收纳所述氯硅烷液的箱、安装在所述箱上并且外部的配管可装卸地连接到其上的阀、以及在所述外部的配管从所述阀脱离时密封所述阀的封闭盖。所述阀具有壳以及设在所述壳中的阀体。所述封闭盖具备：具有与所述连接法兰的所述连接面相接的封闭面的盖体、用于将惰性气体供给至所述封闭盖和所述阀体之间的所述壳内的空间中的供给管、开闭所述供给管的供给阀、从所述空间排出气体的排气管和开闭所述排气管的排气阀。
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公开(公告)号：CN101649957A
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：CN200910167402.X
申请日：2009-08-12
申请人： 三菱麻铁里亚尔株式会社
CPC分类号： F16K5/0631 , F16K27/067 , Y10T137/4238 , Y10T137/5109 , Y10T137/5283
摘要： 本发明的氯硅烷液的收纳容器具有收纳所述氯硅烷液的箱、安装在所述箱上并且外部的配管可装卸地连接到其上的阀、以及在所述外部的配管从所述阀脱离时密封所述阀的封闭盖。所述阀具有壳以及设在所述壳中的阀体。所述封闭盖具备：具有与所述连接法兰的所述连接面相接的封闭面的盖体、用于将惰性气体供给至所述封闭盖和所述阀体之间的所述壳内的空间中的供给管、开闭所述供给管的供给阀、从所述空间排出气体的排气管和开闭所述排气管的排气阀。
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公开(公告)号：CN101469444B
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN200810184947.7
申请日：2008-12-23
申请人： 三菱麻铁里亚尔株式会社
CPC分类号： C30B29/06 , C30B13/00 , C30B13/20 , C30B13/32 , Y10T117/10 , Y10T117/1016 , Y10T117/1024 , Y10T117/1032 , Y10T117/1064
摘要： 本发明的单结晶硅制造装置具备：发热环，设在贯通壳体的壁的可旋转的支承轴(11)的顶端上，具有可通过上述感应加热线圈被感应加热的导电部件、和覆盖该导电部件的石英覆盖体；操作机构，在上述支承轴(11)上，通过使其旋转，使上述发热环在上述晶种保持器与多结晶保持器之间接近于上述感应加热线圈的加热位置、和从该加热位置退避的退避位置之间往复移动；密封部件(21A)，设在上述壳体的壁与上述支承轴(11)的贯通部处，保持它们的气密；冷却流路(14)，形成在上述支承轴的内部中，使冷却介质流通。
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公开(公告)号：CN101469444A
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：CN200810184947.7
申请日：2008-12-23
申请人： 三菱麻铁里亚尔株式会社
CPC分类号： C30B29/06 , C30B13/00 , C30B13/20 , C30B13/32 , Y10T117/10 , Y10T117/1016 , Y10T117/1024 , Y10T117/1032 , Y10T117/1064
摘要： 本发明的单结晶硅制造装置具备：发热环，设在贯通壳体的壁的可旋转的支承轴(11)的顶端上，具有可通过上述感应加热线圈被感应加热的导电部件、和覆盖该导电部件的石英覆盖体；操作机构，在上述支承轴(11)上，通过使其旋转，使上述发热环在上述晶种保持器与多结晶保持器之间接近于上述感应加热线圈的加热位置、和从该加热位置退避的退避位置之间往复移动；密封部件(21A)，设在上述壳体的壁与上述支承轴(11)的贯通部处，保持它们的气密；冷却流路(14)，形成在上述支承轴的内部中，使冷却介质流通。
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