发明授权
- 专利标题: 一种浮栅为SONOS结构的闪存
- 专利标题(英): Flash memory provided with floating gates with SONOS structure
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申请号: CN200910196452.0申请日: 2009-09-25
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公开(公告)号: CN101667582B公开(公告)日: 2012-08-08
- 发明人: 张博 , 孔蔚然
- 申请人: 上海宏力半导体制造有限公司
- 申请人地址: 上海市张江高科技圆区郭守敬路818号
- 专利权人: 上海宏力半导体制造有限公司
- 当前专利权人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市张江高科技圆区郭守敬路818号
- 代理机构: 上海思微知识产权代理事务所
- 代理商 郑玮
- 主分类号: H01L27/115
- IPC分类号: H01L27/115 ; H01L29/43 ; G11C16/02
摘要:
本发明提供一种浮栅为SONOS结构的闪存,包括:源极和漏极,与衬底相连;浮栅氧化膜,位于衬底之上;选择栅,形成于浮栅氧化膜之上,且位于源极和漏极之间;第一浮栅,形成于浮栅氧化膜之上,且位于源极和选择栅之间,第一浮栅为SONOS结构;第二浮栅,形成于浮栅氧化膜之上,且位于漏极和选择栅之间,第二浮栅为SONOS结构;第一控制栅氧化膜和第二控制栅氧化膜,分别形成于第一浮栅和第二浮栅之上;第一控制栅和第二控制栅,分别位于第一控制栅氧化膜和第二控制栅氧化膜之上。本发明提供的闪存的浮栅采用SONOS结构,相比于多晶硅材料,增加了闪存面积的可再缩的能力。
公开/授权文献
- CN101667582A 一种浮栅为SONOS结构的闪存 公开/授权日:2010-03-10
IPC分类: