一种浮栅为SONOS结构的闪存
摘要:
本发明提供一种浮栅为SONOS结构的闪存,包括:源极和漏极,与衬底相连;浮栅氧化膜,位于衬底之上;选择栅,形成于浮栅氧化膜之上,且位于源极和漏极之间;第一浮栅,形成于浮栅氧化膜之上,且位于源极和选择栅之间,第一浮栅为SONOS结构;第二浮栅,形成于浮栅氧化膜之上,且位于漏极和选择栅之间,第二浮栅为SONOS结构;第一控制栅氧化膜和第二控制栅氧化膜,分别形成于第一浮栅和第二浮栅之上;第一控制栅和第二控制栅,分别位于第一控制栅氧化膜和第二控制栅氧化膜之上。本发明提供的闪存的浮栅采用SONOS结构,相比于多晶硅材料,增加了闪存面积的可再缩的能力。
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