发明公开

光刻设备和器件制造方法
摘要:
本发明公开了配置以产生用于光刻设备的辐射的源。所述源包括阳极和阴极。阴极和阳极被配置以在阳极和阴极之间的放电空间中的燃料中产生放电,以便产生等离子体,阴极和阳极彼此相对地定位,使得在使用中在阳极和阴极之间延伸的电流线大致弯曲,以便产生大致径向地压缩仅在阴极或阳极的上表面附近的区域中的等离子体的力。
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