发明公开
- 专利标题: 一种柔性衬底绒面结构ZnO薄膜的制备及应用
- 专利标题(英): Preparation and application of ZnO thin film with flexible substrate suede structure
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申请号: CN201010202098.0申请日: 2010-06-18
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公开(公告)号: CN101892464A公开(公告)日: 2010-11-24
- 发明人: 陈新亮 , 耿新华 , 林泉 , 倪牮 , 张德坤 , 张建军 , 赵颖
- 申请人: 南开大学
- 申请人地址: 天津市南开区卫津路94号
- 专利权人: 南开大学
- 当前专利权人: 南开大学
- 当前专利权人地址: 天津市南开区卫津路94号
- 代理机构: 天津佳盟知识产权代理有限公司
- 代理商 侯力
- 主分类号: C23C16/40
- IPC分类号: C23C16/40 ; C23C16/455 ; H01L31/0336
摘要:
一种柔性衬底绒面结构ZnO薄膜,采用金属有机化学气相沉积技术制备,以聚乙烯对苯二甲酯(PET)为柔性衬底,以二乙基锌和水为源材料,硼烷为掺杂气体,生长B掺杂ZnO透明导电薄膜,结构为PET/MOCVD-ZnO;将该薄膜应用于pin型a-Si薄膜太阳电池和a-Si/a-Si叠层薄膜太阳电池,其结构分别是PET/ZnO/pina-Si/Al和PET/ZnO/pin a-Si/pin a-Si/Al。本发明的优点是:柔性衬底PET材料价格低廉且具有高透过率特性,便于大面积生产推广;MOCVD技术可实现低温生长薄膜;获得ZnO薄膜可直接形成绒面结构,有利于光散射;应用于薄膜太阳电池,光电转换效率高。
IPC分类: