Invention Publication
- Patent Title: 半导体构造、NAND单位单元、形成半导体构造的方法及形成NAND单位单元的方法
- Patent Title (English): Semiconductor constructions, NAND unit cells, methods of forming semiconductor constructions, and methods of forming NAND unit cells
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Application No.: CN200880124715.0Application Date: 2008-11-25
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Publication No.: CN101911297APublication Date: 2010-12-08
- Inventor: D·V.·尼马尔·拉马斯瓦米 , 古尔特杰·S·桑胡
- Applicant: 美光科技公司
- Applicant Address: 美国爱达荷州
- Assignee: 美光科技公司
- Current Assignee: 美光科技公司
- Current Assignee Address: 美国爱达荷州
- Agency: 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- Agent 沈锦华
- Priority: 12/014,508 2008.01.15 US
- International Application: PCT/US2008/084683 2008.11.25
- International Announcement: WO2009/091448 EN 2009.07.23
- Date entered country: 2010-07-14
- Main IPC: H01L27/115
- IPC: H01L27/115 ; H01L21/8247

Abstract:
一些实施例包含形成半导体构造的方法。可形成n型掺杂材料与p型掺杂材料的交替层。可将所述交替层图案化成通过开口而彼此间隔开的多个垂直立柱。可用隧道电介质、电荷存储材料及阻挡电介质给所述开口加衬。可在所述经加衬开口内形成绝缘材料与导电控制栅极材料的交替层。一些实施例包含形成NAND单位单元的方法。可形成交替的n型材料与p型材料的立柱。可用隧道电介质层、电荷存储材料层及阻挡电介质层给所述立柱加衬。可在所述经加衬立柱之间形成绝缘材料与导电控制栅极材料的交替层。一些实施例包含半导体构造,且一些实施例包含NAND单位单元。
Public/Granted literature
- CN101911297B 半导体构造、NAND单位单元、形成半导体构造的方法及形成NAND单位单元的方法 Public/Granted day:2011-11-16
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IPC分类: