Invention Publication
CN101922045A GaN单结晶体及其制造方法和半导体器件及其制造方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: GaN单结晶体及其制造方法和半导体器件及其制造方法
- Patent Title (English): GaN single-crystal mass and method of its manufacture, and semiconductor device and method of its manufacture
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Application No.: CN201010202934.5Application Date: 2010-06-10
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Publication No.: CN101922045APublication Date: 2010-12-22
- Inventor: 中幡英章 , 藤原伸介 , 樱田隆 , 山本喜之 , 中畑成二 , 上村智喜
- Applicant: 住友电气工业株式会社
- Applicant Address: 日本大阪府大阪市
- Assignee: 住友电气工业株式会社
- Current Assignee: 住友电气工业株式会社
- Current Assignee Address: 日本大阪府大阪市
- Agency: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- Agent 孙志湧; 穆德骏
- Priority: 2009-139304 2009.06.10 JP
- Main IPC: C30B29/40
- IPC: C30B29/40 ; C30B25/02 ; H01L29/20 ; H01L21/02

Abstract:
本发明提供了GaN单结晶体及其制造方法和半导体器件及其制造方法,由此,当生长GaN单结晶体时以及当生长的GaN单结晶体被加工成基板等形式时,以及当至少单层的半导体层形成在基板形式的GaN单结晶体上以制造半导体器件时,将裂纹控制到最少。GaN晶体团(10)具有纤锌矿晶体结构,并且在30℃下,其弹性常数C11为348GPa至365GPa并且其弹性常数C13为90GPa至98GPa,或者其弹性常数C11为352GPa至362GPa。
Public/Granted literature
- CN101922045B GaN单结晶体及其制造方法和半导体器件及其制造方法 Public/Granted day:2014-10-15
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