GaN单结晶体及其制造方法和半导体器件及其制造方法
Abstract:
本发明提供了GaN单结晶体及其制造方法和半导体器件及其制造方法,由此,当生长GaN单结晶体时以及当生长的GaN单结晶体被加工成基板等形式时,以及当至少单层的半导体层形成在基板形式的GaN单结晶体上以制造半导体器件时,将裂纹控制到最少。GaN晶体团(10)具有纤锌矿晶体结构,并且在30℃下,其弹性常数C11为348GPa至365GPa并且其弹性常数C13为90GPa至98GPa,或者其弹性常数C11为352GPa至362GPa。
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