- 专利标题： 电极梳、微机械构件和用于电极梳或微机械构件的制造方法
- 专利标题（英）： Electrode comb, micromechanical component and method for producing an electrode comb or a micromechanical component
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申请号： CN200880128512.9申请日： 2008-12-04
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公开(公告)号： CN101990737B公开(公告)日： 2015-04-22
- 发明人: T·皮尔克 , S·平特 , J·穆霍 , J·弗里茨
- 申请人： 罗伯特·博世有限公司
- 申请人地址： 德国斯图加特
- 专利权人： 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人： 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人地址： 德国斯图加特
- 代理机构： 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 侯鸣慧
- 优先权： 102008001053.7 2008.04.08 DE
- 国际申请： PCT/EP2008/066811 2008.12.04
- 国际公布： WO2009/124611 DE 2009.10.15
- 进入国家日期： 2010-10-08
- 主分类号： H02N1/00
- IPC分类号： H02N1/00
摘要：
本发明涉及一种用于微机械构件的电极梳(82)，该电极梳具有至少一个电极指，对于所述至少一个电极指可定义具有第一中心纵轴线(88a，90a)的第一电极指子单元(88，90)和具有第二中心纵轴线(88a，90a)的第二电极指子单元(88，90)，其中，所述第二中心纵轴线(88a，90a)相对于所述第一中心纵轴线(88a，90a)以不等于0°且不等于180°的弯折角(δ)倾斜，本发明还涉及设有这种电极梳(82)的微机械构件。本发明同样涉及微机械构件。本发明此外涉及用于电极梳(82)的制造方法和用于微机械构件的制造方法。
公开/授权文献
- CN101990737A 电极梳、微机械构件和用于电极梳或微机械构件的制造方法 公开/授权日：2011-03-23
