-
公开(公告)号：CN113683050A
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202110538506.8
申请日：2021-05-18
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于传感器设备或麦克风设备的微机械构件，其具有：衬底；框架结构，其布置在衬底表面和/或至少一个中间层上；膜片，其跨越由框架结构至少部分地围绕的内部体积，其中，内部体积以气密的方式如此密封，使得膜片能够借助存在于其膜片内侧上的内压(p1)与存在于其膜片外侧上的外压(p2)之间的压差而翘曲，其中，该微机械构件具有布置在内部空间中的弯曲梁结构，该弯曲梁结构具有固定在框架结构、衬底表面和/或至少一个中间层上的至少一个锚固区域且具有至少一个自承载区域，该至少一个自承载区域通过至少一个耦合结构如此连接在膜片的膜片内侧上，使得至少一个自承载区域能够借助膜片的翘曲而弯曲。
-
公开(公告)号：CN102187563A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN200980141806.X
申请日：2009-08-24
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: H02N1/00
CPC classification number: H02N1/006 , Y10T29/49002
Abstract: 本发明涉及一种静电驱动器，包括：一个内框架(16)；至少一个包围内框架的中间框架(14)；和一个包围内框架(12)和所述至少一个中间框架(14)的外框架(12)；其中，内、中间和外框架(12，14，16)中每两个相邻的框架(12，14，16)通过至少一个弹簧元件(22，24，26)相互连接，所述弹簧元件(22，24，26)，通过它们将内、中间和外框架(12，14，16)的每两个相邻的框架(12，14，16)相互连接，被这样地设置，使得所述弹簧元件(22，24，26)的纵向方向位于一个共同的弹簧纵向轴线(28)上，以及直接在内框架(16)、所述至少一个中间框架(14)和外框架(12)的平行于弹簧纵向轴线(28)定向的框架梁(12a，14a，16a)上设有电极指。本发明同样涉及一种用于静电驱动器的制造方法。本发明还涉及一种微机械部件(10)和用于微机械部件(10)的制造方法。
-
公开(公告)号：CN101939252A
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN200880126177.9
申请日：2008-11-21
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/00
CPC classification number: B81B7/0006 , B81B2201/042 , B81B2203/0109
Abstract: 本发明涉及微机械结构元件，其包括基件、具有导电材料的偏转件和偏转件绝缘部，该偏转件绝缘部使偏转件的第一与第二区段相互电绝缘。柔性的、导电的第一连接元件使基件与第一偏转件区段连接，柔性的、导电的第二连接元件使基件与第二偏转件区段连接。还涉及一种用于制造微机械结构元件的方法，该方法包括以下步骤：提供具有导电的覆盖层的衬底晶片，在覆盖层中蚀刻绝缘沟，该绝缘沟使覆盖层的第一区段与第二区段相互绝缘，以及由衬底晶片构成基件和包括覆盖层的第一区段和第二区段的偏转件，留下柔性的、导电的第一连接元件和柔性的、导电的第二连接元件，该第一连接元件使基件与第一偏转件区段连接，该第二连接元件使基件与第二偏转件区段连接。
-
公开(公告)号：CN109803917A
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201780063229.1
申请日：2017-09-18
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明提出一种用于制造微机械压力传感器(100)的方法，具有以下步骤：提供具有硅衬底(11)和构造在该硅衬底中的、在传感器膜片(12)下面的第一空腔(13)的MEMS晶片(10)；提供第二晶片(30)；使所述MEMS晶片(10)与所述第二晶片(30)键合；并且使传感器芯(12、13、13a)从背侧开始露出，其中，在传感器芯(12、13、13a)和所述硅衬底(11)的表面之间构造第二空腔(18)，其中，借助蚀刻过程构造所述第二空腔(18)，该蚀刻过程以限定改变的蚀刻参数实施。
-
公开(公告)号：CN103030101B
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201210369338.5
申请日：2012-09-27
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: H01L23/48 , B81B2207/012 , B81B2207/096 , B81C1/00238 , B81C2203/0154 , B81C2203/0792 , H01L21/50 , H01L21/561 , H01L21/76898 , H01L23/544 , H01L24/11 , H01L24/13 , H01L24/17 , H01L24/81 , H01L24/92 , H01L24/94 , H01L24/97 , H01L2223/54426 , H01L2223/54466 , H01L2224/0401 , H01L2224/09181 , H01L2224/13025 , H01L2224/131 , H01L2224/13101 , H01L2224/16145 , H01L2224/16146 , H01L2224/16235 , H01L2224/17181 , H01L2224/9202 , H01L2224/94 , H01L2224/97 , H01L2924/01012 , H01L2924/1433 , H01L2924/1461 , H01L2924/181 , H01L2224/81 , H01L2924/014 , H01L2924/00014 , H01L2224/11 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及一种用于制造双芯片装置的方法和一种相应的双芯片装置。所述方法包括以下步骤：提供具有第一厚度的晶片，其具有前侧和背侧并且具有第一数量的多个第一芯片，其可连接在前侧上；将第二数量的多个第二芯片施加在晶片的前侧上，使得每一个第一芯片分别与一个第二芯片连接并且形成一个相应的双芯片对；在晶片的前侧上形成连通的模制壳体，使得第二芯片被封装；从背侧起将晶片背面减薄到第二厚度，所述第二厚度小于第一厚度；从背侧起形成通到第二芯片的覆镀通孔；以及将双芯片对分割成相应的双芯片装置。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101990737A
公开(公告)日：2011-03-23
申请号：CN200880128512.9
申请日：2008-12-04
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: H02N1/00
CPC classification number: H02N1/008
Abstract: 本发明涉及一种用于微机械构件的电极梳(82)，该电极梳具有至少一个电极指，对于所述至少一个电极指可定义具有第一中心纵轴线(88a，90a)的第一电极指子单元(88，90)和具有第二中心纵轴线(88a，90a)的第二电极指子单元(88，90)，其中，所述第二中心纵轴线(88a，90a)相对于所述第一中心纵轴线(88a，90a)以不等于0°且不等于180°的弯折角(δ)倾斜，本发明还涉及设有这种电极梳(82)的微机械构件。本发明同样涉及微机械构件。本发明此外涉及用于电极梳(82)的制造方法和用于微机械构件的制造方法。
-
公开(公告)号：CN116615389A
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202180074015.0
申请日：2021-10-06
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种微机械结构元件(100)，所述微机械结构元件具有：‑膜片(10)；其中，‑所述膜片(10)在至少一个锚结构(13)的区域中和/或在至少一个连接结构(14)的区域中具有至少一个增强结构(20)，所述增强结构在几何形状方面以定义的方式构造，借助所述增强结构以定义的方式增强所述膜片(10)。
-
公开(公告)号：CN109803917B
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN201780063229.1
申请日：2017-09-18
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明提出一种用于制造微机械压力传感器(100)的方法，具有以下步骤：提供具有硅衬底(11)和构造在该硅衬底中的、在传感器膜片(12)下面的第一空腔(13)的MEMS晶片(10)；提供第二晶片(30)；使所述MEMS晶片(10)与所述第二晶片(30)键合；并且使传感器芯(12、13、13a)从背侧开始露出，其中，在传感器芯(12、13、13a)和所述硅衬底(11)的表面之间构造第二空腔(18)，其中，借助蚀刻过程构造所述第二空腔(18)，该蚀刻过程以限定改变的蚀刻参数实施。
-
公开(公告)号：CN102217183B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN200980146261.1
申请日：2009-09-24
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: H02N1/00
CPC classification number: H02N2/14 , G02B6/3512 , G02B26/0841 , H02N1/006
Abstract: 本发明涉及一种用于运行静电驱动装置的方法，该静电驱动装置具有定子电极(50)和致动器电极(52)，它们由多层电极构成，其中该致动器电极(52)在其无电压的初始位置中在定子电极子单元(50b，50c)与致动器电极子单元(52b，52c)之间没有施加电压的情况下这样相对于定子电极(50)设置，使得第一致动器电极子单元(52b)比第二致动器电极子单元(52c)具有更小的至第一定子电极子单元(50b)的距离，具有步骤：通过将第一电位(∏1)施加到第一定子电极子单元(50b)上并且将与第一电位(∏1)不同的第二电位(∏2)施加到第一致动器电极子单元(52b)上，并且将不同于第一电位(∏1)和第二电位(∏2)的第三电位(∏3)施加到第二定子电极子单元(50c)和第二致动器电极子单元(52c)上，使致动器电极(52)相对于定子电极(50)从其无电压的初始位置预偏移到第一终端位置。
-
公开(公告)号：CN102217183A
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN200980146261.1
申请日：2009-09-24
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: H02N1/00
CPC classification number: H02N2/14 , G02B6/3512 , G02B26/0841 , H02N1/006
Abstract: 本发明涉及一种用于运行静电驱动装置的方法，该静电驱动装置具有定子电极(50)和致动器电极(52)，它们由多层电极构成，其中该致动器电极(52)在其无电压的初始位置中在定子电极子单元(50b，50c)与致动器电极子单元(52b，52c)之间没有施加电压的情况下这样相对于定子电极(50)设置，使得第一致动器电极子单元(52b)比第二致动器电极子单元(52c)具有更小的至第一定子电极子单元(50b)的距离，具有步骤：通过将第一电位(∏1)施加到第一定子电极子单元(50b)上并且将与第一电位(∏1)不同的第二电位(∏2)施加到第一致动器电极子单元(52b)上，并且将不同于第一电位(∏1)和第二电位(∏2)的第三电位(∏3)施加到第二定子电极子单元(50c)和第二致动器电极子单元(52c)上，使致动器电极(52)相对于定子电极(50)从其无电压的初始位置预偏移到第一终端位置。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
27
records
(took 0.02 seconds)
