发明公开
- 专利标题： 应变层的松弛与转移
- 专利标题（英）： Relaxation and transfer of strained layers
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申请号： CN200980130447.8申请日： 2009-07-02
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公开(公告)号： CN102113090A公开(公告)日： 2011-06-29
- 发明人: 法布里斯·勒泰特 , 布鲁斯·富尔 , 帕斯卡·昆纳德 , 迈克·卡梅斯 , 尼尔逊·麦克劳林 , 纳特·加的纳
- 申请人： 硅绝缘体技术有限公司
- 申请人地址： 法国伯涅尼
- 专利权人： 硅绝缘体技术有限公司
- 当前专利权人： 硅绝缘体技术有限公司
- 当前专利权人地址： 法国伯涅尼
- 代理机构： 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 李辉; 吕俊刚
- 优先权： 08290759.3 2008.08.06 EP
- 国际申请： PCT/EP2009/004792 2009.07.02
- 国际公布： WO2010/015302 EN 2010.02.11
- 进入国家日期： 2011-02-01
- 主分类号： H01L21/20
- IPC分类号： H01L21/20 ; H01L33/00 ; H01L31/18 ; H01L21/58 ; H01L21/762
摘要：
本发明涉及在目标基板上形成至少部分地松弛的应变材料的方法，该方法包括相继执行的以下步骤：在中间基板上从应变材料层形成岛；通过第一热处理来至少部分地松弛所述应变材料岛；以及，将所述至少部分地松弛的应变材料岛转移到所述目标基板。
公开/授权文献
- CN102113090B 应变层的松弛与转移 公开/授权日：2013-12-18
IPC分类:
