加速度传感器及其制造方法
摘要:
本发明揭示了一种用于检测地震、地音的加速度传感器及其制造方法,所述加速度传感器包括组成阵列式的若干个子结构,每一个子结构包括质量块、与质量块在横向上相互连接的锚点及可相互之间在横向上产生相对位移的梳齿;所述若干个子结构在横向上通过第一支撑结构相互连接,并且所述若干个子结构在垂直横向的纵向上通过第二支撑结构相互连接。所述加速度传感器可以通过连接各个子结构之间的第一、第二支撑结构来进行应力释放,从而提高了灵敏度。
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