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发明公开
CN102197466A 具微筛孔网屏的紫外线传送微波反射器 无效 - 撤回

具微筛孔网屏的紫外线传送微波反射器
摘要：
一种用于一基板处理室的紫外线传送微波反射器包含一延伸于金属框架上的微筛孔网屏。在一个版本中，该微筛孔网屏包含至少一个电铸成形层。一种制造该微波反射器的方法包含电铸成形一围绕一微筛孔网屏的金属框架并使得该微筛孔网屏包含一大于总面积的80％的开口面积。
摘要（英）：

An ultraviolet-transmitting microwave reflector for a substrate processing chamber, comprises a micromesh screen extending across the metallic frame. In one version, the micromesh screen comprises at least one electroformed layer. A method of fabricating the microwave reflector comprises electroforming a metallic frame surrounding a micromesh screen such that the micromesh screen comprises an open area of greater than 80% of the total area.

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