公开(公告)号：CN102197466A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN200980142444.6

申请日：2009-10-20

申请人： 应用材料股份有限公司

发明人： T·A·恩古耶 ,  Y-H·杨 ,  S·巴录佳 ,  T·诺瓦克 ,  J·C·罗查-阿尔瓦雷斯

IPC分类号： H01L21/324 ,  H01L21/205 ,  H01L21/203

CPC分类号： C25D5/022 ,  C25D1/08

摘要： 一种用于一基板处理室的紫外线传送微波反射器包含一延伸于金属框架上的微筛孔网屏。在一个版本中，该微筛孔网屏包含至少一个电铸成形层。一种制造该微波反射器的方法包含电铸成形一围绕一微筛孔网屏的金属框架并使得该微筛孔网屏包含一大于总面积的80％的开口面积。

公开(公告)号：CN102187441A

公开(公告)日：2011-09-14

申请号：CN200980142397.5

申请日：2009-10-20

申请人： 应用材料股份有限公司

发明人： Y-H·杨 ,  T·A·恩古耶 ,  S·巴录佳 ,  A·卡祖巴 ,  J·C·罗查 ,  T·诺瓦克 ,  D·W·何

IPC分类号： H01L21/324 ,  H01L21/205

CPC分类号： G21K1/062 ,  B82Y10/00 ,  G21K2201/064 ,  G21K2201/065 ,  G21K2201/067

摘要： 一种用于紫外线灯的反射器，其可使用于基材处理设备中。该反射器包含延伸该紫外线灯长度的纵向带。该纵向带具有一弯曲反射表面并且包含数个穿透孔洞以导引冷却剂气体朝向该紫外线灯。在此亦描述使用附有反射器的紫外线灯模块的腔室以及紫外线处理的方法。