发明公开
CN102214742A 一种二维光子晶体结构GaN基LED的制备方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种二维光子晶体结构GaN基LED的制备方法
- 专利标题(英): Method for preparing two-dimensional photonic crystal structure GaN (gallium nitride) based LED (light emitting diode)
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申请号: CN201110148202.7申请日: 2011-06-02
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公开(公告)号: CN102214742A公开(公告)日: 2011-10-12
- 发明人: 吴小锋 , 徐智谋 , 刘文 , 孙堂友 , 李程程 , 赵文宁 , 王双保
- 申请人: 华中科技大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 代理机构: 华中科技大学专利中心
- 代理商 李佑宏
- 主分类号: H01L33/00
- IPC分类号: H01L33/00 ; G03F7/00
摘要:
本发明公开了一种二维光子晶体结构GaN基LED的制备方法,包括首先在目标上旋涂一层紫外光刻胶,利用紫外软纳米压印将模板的二维光子晶体结构复制到光刻胶表面,刻蚀去掉残胶,在光子晶体紫外胶上蒸渡一层SiO2或Cr膜,经刻蚀在目标片上得到这种光子晶体图形,将所得的GaN经去胶、清洗、烘干处理即得光子晶体目标片,将所得的目标片进行后续工艺处理,即可完成器件的制作,得到高光提取效率的光子晶体GaN基LED。本发明的方法可以提高刻蚀的选择比,一定范围内可调节光子晶体得占空比,可克服LED芯片表面的不平整问题,较好地通过纳米压印技术制备光子晶体图案,适用于工业生产的GaN基光子晶体LED的制备。
公开/授权文献
- CN102214742B 一种二维光子晶体结构GaN基LED的制备方法 公开/授权日:2013-02-13
IPC分类: