一种二维光子晶体结构GaN基LED的制备方法
摘要:
本发明公开了一种二维光子晶体结构GaN基LED的制备方法,包括首先在目标上旋涂一层紫外光刻胶,利用紫外软纳米压印将模板的二维光子晶体结构复制到光刻胶表面,刻蚀去掉残胶,在光子晶体紫外胶上蒸渡一层SiO2或Cr膜,经刻蚀在目标片上得到这种光子晶体图形,将所得的GaN经去胶、清洗、烘干处理即得光子晶体目标片,将所得的目标片进行后续工艺处理,即可完成器件的制作,得到高光提取效率的光子晶体GaN基LED。本发明的方法可以提高刻蚀的选择比,一定范围内可调节光子晶体得占空比,可克服LED芯片表面的不平整问题,较好地通过纳米压印技术制备光子晶体图案,适用于工业生产的GaN基光子晶体LED的制备。
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