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双极晶体管
Abstract:
一种双极晶体管,具有发射极层、基极层和集电极层。发射极层形成在衬底上,并且是包括第一氮化物半导体的n型导电层。基极层形成在发射极层上,并且是包括第二氮化物半导体的p型导电层。集电极层形成在基极层上,并且包括第三氮化物半导体。集电极层、基极层和发射极层形成为相对于衬底表面的晶体生长方向与[000-1]的衬底方向平行。第三氮化物半导体包括InycAlxcGa1-xc-ycN(0≤xc≤1,0≤yc≤1,0<xc+yc≤1)。第三氮化物半导体的在表面侧上的a轴长度比在衬底侧上的a轴长度短。
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