发明公开
- 专利标题: 一种氧化锌透明导电薄膜及其制造方法
- 专利标题(英): Zinc oxide transparent conductive film and production method thereof
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申请号: CN201010241752.9申请日: 2010-08-02
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公开(公告)号: CN102251277A公开(公告)日: 2011-11-23
- 发明人: 王钢 , 王孟源 , 童存声 , 雷秀铮 , 江灏
- 申请人: 中山大学佛山研究院 , 佛山市中昊光电科技有限公司
- 申请人地址: 广东省佛山市南海软件技科园信息大道北研发楼A栋三楼
- 专利权人: 中山大学佛山研究院,佛山市中昊光电科技有限公司
- 当前专利权人: 佛山市中昊光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省佛山市南海软件技科园信息大道北研发楼A栋三楼
- 代理机构: 深圳市惠邦知识产权代理事务所
- 代理商 赵彦雄
- 主分类号: C30B25/02
- IPC分类号: C30B25/02 ; C30B29/16 ; C30B33/02
摘要:
本发明公开了一种氧化锌透明导电膜及其制造方法。该氧化锌透明导电膜包括顺序附着在衬底材料一侧表面的ZnO成核层、ZnO主体层和圆冠纳米柱状ZnO层;圆冠纳米柱状ZnO层具有若干的圆冠纳米柱状表面;所述圆冠纳米柱状ZnO层之圆冠的跨度为10至1000nm,圆冠顶部距ZnO主体层10至600nm。该制造方法包括如下步骤:生长衬底预处理;预沉积;ZnO成核层生长;ZnO主体层生长;圆冠纳米柱状ZnO层生长。采用本发明氧化锌透明导电膜的制造方法得到的ZnOTCL,除了能满足优良的导电和透明特性外,还能精准控制生长质量和控制形貌,具有光子晶体特性的表面形貌,对光学的萃取效率更高;能极大的提高LED外量子效率,促进LED行业的长足发展,有利于实现环保节能、可持续发展的目标。
公开/授权文献
- CN102251277B 一种氧化锌透明导电薄膜及其制造方法 公开/授权日:2014-06-25
IPC分类: