一种调焦调平检测装置及方法，该装置具有：倾斜入射检测光学系统，振动反射镜光学系统，数字光电探测装置，调焦调平测量装置控制器，运动台控制器。该装置利用离焦高度引起的偏差通过振动反射镜调整后在数字光电探测装置上的检测光斑的位置偏差和时间段之间的量化关系测量离焦高度，从而实现调焦调平。该调焦调平检测方法采用了数字化检测方法，基本消除了模拟电路易受光、电磁和热等环境因素影响的弊端，显著增强了调焦调平检测系统的抗干扰性能，有利于调焦调平检测精度和测量稳定性的进一步提高。