公开(公告)号：CN100559278C

公开(公告)日：2009-11-11

申请号：CN200610119021.0

申请日：2006-12-01

申请人： 上海微电子装备有限公司

发明人： 关俊 ,  李小平 ,  李志丹 ,  田湍 ,  金小兵

IPC分类号： G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  H01L21/00

摘要： 本发明公开了一种调焦调平传感装置的光学系统，其包括沿光路传播方向依次设置的光源模块、照明模块、投影成像模块、探测成像模块以及探测器模块。本发明采用了反射系统，消除了宽带光的色差影响；采用了独特的阶梯反射镜使每个光斑点的像的中心处在处于理想位置的硅片的上表面上，减小了系统测量误差，提高了测量精度。

公开(公告)号：CN1971426A

公开(公告)日：2007-05-30

申请号：CN200610119021.0

申请日：2006-12-01

申请人： 上海微电子装备有限公司

发明人： 关俊 ,  李小平 ,  李志丹 ,  田湍 ,  金小兵

IPC分类号： G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  H01L21/00

摘要： 本发明公开了一种调焦调平传感装置的光学系统，其包括沿光路传播方向依次设置的光源模块、照明模块、投影成像模块、探测成像模块以及探测器模块。本发明采用了反射系统，消除了宽带光的色差影响；采用了独特的阶梯反射镜使每个光斑点的像的中心处在处于理想位置的硅片的上表面上，减小了系统测量误差，提高了测量精度。

公开(公告)号：CN101261450B

公开(公告)日：2010-06-02

申请号：CN200810035900.4

申请日：2008-04-10

申请人： 上海微电子装备有限公司

发明人： 陈飞彪 ,  李志丹 ,  徐兵 ,  田湍 ,  肖可云 ,  潘炼东

IPC分类号： G03F7/20 ,  G03F9/00

摘要： 本发明提供了一种零位自动可调的调焦调平测量装置及其使用方法，在调焦调平精测测量装置中增加一组自动可调机构，该可调机构用于对调焦调平测量装置进行零位调整。当该可调机构位于其初始位置时，调焦调平测量处于精测模式，而当该可调机构不位于其初始位置时，调焦调平测量处于粗测模式。

公开(公告)号：CN102298278B

公开(公告)日：2013-08-14

申请号：CN201010209992.0

申请日：2010-06-25

申请人： 上海微电子装备有限公司

发明人： 田湍 ,  陈飞彪 ,  李志丹 ,  潘炼东 ,  魏礼俊

IPC分类号： G03F9/00

摘要： 一种调焦调平检测装置及方法，该装置具有：倾斜入射检测光学系统，振动反射镜光学系统，数字光电探测装置，调焦调平测量装置控制器，运动台控制器。该装置利用离焦高度引起的偏差通过振动反射镜调整后在数字光电探测装置上的检测光斑的位置偏差和时间段之间的量化关系测量离焦高度，从而实现调焦调平。该调焦调平检测方法采用了数字化检测方法，基本消除了模拟电路易受光、电磁和热等环境因素影响的弊端，显著增强了调焦调平检测系统的抗干扰性能，有利于调焦调平检测精度和测量稳定性的进一步提高。

公开(公告)号：CN102298278A

公开(公告)日：2011-12-28

申请号：CN201010209992.0

申请日：2010-06-25

申请人： 上海微电子装备有限公司

发明人： 田湍 ,  陈飞彪 ,  李志丹 ,  潘炼东 ,  魏礼俊

IPC分类号： G03F9/00

摘要： 一种调焦调平检测装置及方法，该装置具有：倾斜入射检测光学系统，振动反射镜光学系统，数字光电探测装置，调焦调平测量装置控制器，运动台控制器。该装置利用离焦高度引起的偏差通过振动反射镜调整后在数字光电探测装置上的检测光斑的位置偏差和时间段之间的量化关系测量离焦高度，从而实现调焦调平。该调焦调平检测方法采用了数字化检测方法，基本消除了模拟电路易受光、电磁和热等环境因素影响的弊端，显著增强了调焦调平检测系统的抗干扰性能，有利于调焦调平检测精度和测量稳定性的进一步提高。

公开(公告)号：CN101261450A

公开(公告)日：2008-09-10

申请号：CN200810035900.4

申请日：2008-04-10

申请人： 上海微电子装备有限公司

发明人： 陈飞彪 ,  李志丹 ,  徐兵 ,  田湍 ,  肖可云 ,  潘炼东

IPC分类号： G03F7/20 ,  G03F9/00

摘要： 本发明提供了一种零位自动可调的调焦调平测量装置及其使用方法，在调焦调平精测测量装置中增加一组自动可调机构，该可调机构用于对调焦调平测量装置进行零位调整。当该可调机构位于其初始位置时，调焦调平测量处于精测模式，而当该可调机构不位于其初始位置时，调焦调平测量处于粗测模式。

公开(公告)号：CN100520598C

公开(公告)日：2009-07-29

申请号：CN200610117401.0

申请日：2006-10-20

申请人： 上海微电子装备有限公司

发明人： 关俊 ,  李小平 ,  李志丹 ,  田湍

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 本发明公开了一种光电差分测量系统，包括波段不同的一个窄带光光源和一个宽带光光源，用于耦合光束的耦合系统，第一成像系统，波长分束器，被测的两个表面，波长合束器，第二成像系统，能量分束器，用于位置粗测的位置敏感传感器，放大系统和用于位置精测的位置敏感传感器。本发明实现了两个平面相对位置的高精度和高稳定性测量。

公开(公告)号：CN1971425A

公开(公告)日：2007-05-30

申请号：CN200610117401.0

申请日：2006-10-20

申请人： 上海微电子装备有限公司

发明人： 关俊 ,  李小平 ,  李志丹 ,  田湍

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 本发明公开了一种光电差分测量系统，包括波段不同的一个窄带光光源和一个宽带光光源，用于耦合光束的耦合系统，第一成像系统，波长分束器，被测的两个表面，波长合束器，第二成像系统，能量分束器，用于位置粗测的位置敏感传感器，放大系统和用于位置精测的位置敏感传感器。本发明实现了两个平面相对位置的高精度和高稳定性测量。