发明公开
- 专利标题: 半导体芯片及半导体装置
- 专利标题(英): Semiconductor chip and semiconductor device
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申请号: CN201080010283.8申请日: 2010-02-18
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公开(公告)号: CN102341895A公开(公告)日: 2012-02-01
- 发明人: 酒井启之 , 福田健志 , 宇治田信二 , 河井康史
- 申请人: 松下电器产业株式会社
- 申请人地址: 日本大阪府
- 专利权人: 松下电器产业株式会社
- 当前专利权人: 松下电器产业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本大阪府
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 陈萍
- 优先权: 049989/2009 2009.03.03 JP
- 国际申请: PCT/JP2010/001022 2010.02.18
- 国际公布: WO2010/100845 JA 2010.09.10
- 进入国家日期: 2011-09-02
- 主分类号: H01L21/3205
- IPC分类号: H01L21/3205 ; H01L21/822 ; H01L23/52 ; H01L27/04 ; H01P3/08 ; H01P11/00
摘要:
提供一种半导体芯片,是将Si类半导体作为基板的MMIC等半导体芯片,具有低损耗的传送线路,容易连接到安装用电路基板上,且能够确保稳定的GND电位。该半导体芯片是倒装的半导体芯片(10),具备:Si基板(11);形成在Si基板(11)的主面上的集成电路(12);形成在集成电路(12)上方的介质膜(16);以及形成在介质膜(16)上表面的接地用导体膜(17),集成电路(12)包括由用于传送该集成电路(12)中的信号的信号线(15)构成的布线层(13a),由信号线(15)、介质膜(16)及导体膜(17)构成微带线。
公开/授权文献
- CN102341895B 半导体芯片及半导体装置 公开/授权日:2014-01-29
IPC分类: