- 专利标题: 场效应气体传感器、用于制造场效应气体传感器的方法和用于探测气体的方法
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申请号: CN201110226985.6申请日: 2011-08-09
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公开(公告)号: CN102375015B公开(公告)日: 2016-09-14
- 发明人: R.菲克斯 , D.孔茨 , A.克劳斯 , A.马丁 , D.卡尔歇尔
- 申请人: 罗伯特·博世有限公司
- 申请人地址: 德国斯图加特
- 专利权人: 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人: 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人地址: 德国斯图加特
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 张涛; 李家麟
- 优先权: 102010039160.3 2010.08.10 DE; 102011002854.4 2011.01.19 DE
- 主分类号: G01N27/414
- IPC分类号: G01N27/414
摘要:
本发明涉及场效应气体传感器、用于制造场效应气体传感器的方法和用于探测气体的方法。提出了一种场效应气体传感器(100,200,250,300,400,500,600,1020),其具有对于至少一种预先确定的气体可透过的多孔电极层(110,310,410,510,610)。此外,该场效应气体传感器包括至少一个与电极层邻接的介电体层(120、210、220、230、240、320、430、520、540、620、660),所述介电体层具有不同于SiO2的材料。最后,该场效应气体传感器包括由金属或半导体材料构成的后部电极(150,330,420,440,530,640),其中后部电极在与电极层对置的那侧上与所述介电体层邻接。
公开/授权文献
- CN102375015A 场效应气体传感器、用于制造场效应气体传感器的方法和用于探测气体的方法 公开/授权日:2012-03-14