场效应气体传感器、用于制造场效应气体传感器的方法和用于探测气体的方法
摘要:
本发明涉及场效应气体传感器、用于制造场效应气体传感器的方法和用于探测气体的方法。提出了一种场效应气体传感器(100,200,250,300,400,500,600,1020),其具有对于至少一种预先确定的气体可透过的多孔电极层(110,310,410,510,610)。此外,该场效应气体传感器包括至少一个与电极层邻接的介电体层(120、210、220、230、240、320、430、520、540、620、660),所述介电体层具有不同于SiO2的材料。最后,该场效应气体传感器包括由金属或半导体材料构成的后部电极(150,330,420,440,530,640),其中后部电极在与电极层对置的那侧上与所述介电体层邻接。
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