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公开(公告)号：CN104062340B
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201410096791.2
申请日：2014-03-17
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01N27/407 , B81B7/00
CPC classification number: G01N27/4067 , G01N27/123 , G01N27/128 , G01N27/409
Abstract: 微电化学传感器和用于运行微电化学传感器的方法。本发明涉及微电化学传感器（100），其具有由半导体衬底组成的载体材料（102）和布置在载体材料（102）的第一子区域中的化学敏感的传感器元件（104）。加热元件（106）布置在传感器元件（104）的区域中并且被构造用于对传感器元件（104）加温。微电子设备（108）布置在载体材料（102）的第二子区域中并且经由集成到载体材料（102）中的印制导线与传感器元件（104）和加热元件（106）连接。微电子设备（108）被构造用于运行加热元件（106）和传感器元件（104）。
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公开(公告)号：CN102822667A
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201080066052.9
申请日：2010-12-20
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01N27/414
CPC classification number: G01N27/227 , G01N27/414
Abstract: 本发明涉及一种用于借助基于场效应的气体传感器检测在气体混合物中的两种或者更多种气体种类的方法，所述气体传感器具有由气体电极与对应电极单元组成的气体电极-对应电极系统。为了能够检测多种气体种类，施加具有不同频率的交流电压或交流电流，由此气敏电极对气体种类是敏感的。所得的交流电流或者所得的交流电压在此在气体电极-对应电极系统上被测量，并且由所得的交流电流或者所得的交流电压来确定气体种类的存在和/或者浓度。
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公开(公告)号：CN104049023B
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201410091873.8
申请日：2014-03-13
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01N27/416 , B81B1/00 , G01N27/406
CPC classification number: G01N27/30 , G01N27/286 , G01N27/3273 , G01N27/4065 , G01N27/4067 , G01N27/417
Abstract: 本发明涉及微电化学传感器以及用于运行微电化学传感器的方法。公开了一种具有能量供应单元（102）和传感器单元（104）的微电化学传感器（100）。自给自足的能量供应单元（102）被构造用于在使用参考流体（108）的情况下产生电能（106）。所述传感器单元（104）被构造用于确定化学种类在测量流体（112）和参考流体（108）之间的浓度差（110），其中所述测量流体具有未知浓度的该种类并且所述参考流体具有已知浓度的该种类。所述传感器单元（104）与所述能量供应单元（102）电连接并且被构造用于在使用能量供应单元（102）的电能（106）的情况下确定所述浓度差（110）。
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公开(公告)号：CN104165917B
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201410202080.9
申请日：2014-05-14
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01N27/407
Abstract: 微机械传感器装置。本发明涉及一种用于探测和/或测量气体的传感器装置，包括两个电极，在所述两个电极之间设置有薄层的质子传导性材料。通过借助不同的气体浓度形成的质子梯度可以探测或测量气体。
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公开(公告)号：CN107003278A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580069996.4
申请日：2015-12-10
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01N27/414
CPC classification number: G01N27/4141
Abstract: 本发明涉及一种用于探测气体的基于半导体的气体传感器组件（H1），该气体传感器组件具有气体敏感结构（S1），该气体敏感结构包括气体电极（E1）、电极（E2）和布置在所述气体电极和所述电极（E1、E2）之间的至少部分地能极化的电介质层（D1），其中，通过所述气体敏感结构（S1）所形成的电容与读取晶体管（A1）的栅极（G1）耦接，并且，所述读取晶体管（A1）被布置在基底（T1）中或者基底处。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104076063A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410122407.1
申请日：2014-03-28
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01N27/00
CPC classification number: G01N33/0027 , G01N27/227
Abstract: 本发明涉及一种用于定性地和/或定量地检测气体的传感器元件，其具有可暴露给有待测量的气体的前电极（18）、后电极（14）以及布置在前电极（18）与后电极（14）之间的电绝缘层（16），其中前电极（18）和后电极（14）为了定性地和/或定量地检测气体可与交流电压源电气接触，并且其中绝缘层（16）至少如此可局部地极化，从而使得绝缘层在极化状态下具有相对的介电常数，所述介电常数比在非极化状态下小一个系数，所述系数位于在大于或等于1.1的范围中。前述传感器元件（10）可通过有利的方式允许高敏感度地并且高选择性地在宽的温度范围中定性地和/或定量地检测气体。本发明还涉及一种传感器装置以及一种用于定性地和/或定量地检测气体的方法。
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公开(公告)号：CN107003277B
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201580065419.8
申请日：2015-10-09
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01N27/407
Abstract: 本发明涉及用于制造用于检测至少一种气态分析物的气体传感器装置（100）的方法。所述方法（700）具有以下步骤：提供传感器基体（110），所述半导体基体具有半导体衬底（112）和被布置在所述半导体衬底（112）的第一主表面上的固体电解质层（116），至少一个腔区段（114）成形在所述半导体衬底中。在此所述固体电解质层（116）在所述至少一个腔区段（114）中未被所述半导体衬底（112）覆盖。所述方法还具有以下步骤：在所述传感器基体（110）的半导体衬底侧处生成以干化学方式沉积的信号传导层（120），使得在所述至少一个腔区段（114）中未被所述半导体衬底（112）覆盖的固体电解质层（116）的区域中，至少一个缺口区段在所述信号传导层（120）中成形，在所述缺口区段中移除了或者未沉积所述信号传导层（120）；此外，所述方法具有下述步骤：将至少两个测量电极（130、140）借助于湿化学过程涂覆到所述固体电解质层（116）上，其中第一测量电极（130）布置在所述信号传导层（120）的所述至少一个缺口区段中，并且第二测量电极（140）布置在所述传感器基体（110）的固体电解质层侧上。
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公开(公告)号：CN102346161B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201110215725.9
申请日：2011-07-29
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01N27/22
CPC classification number: G01N27/4141
Abstract: 本发明提供一种气体探测装置，它具有一种半导体材料（100），其中，半导体材料是电可接触的；并且该装置具有一种绝缘材料（102），所述绝缘材料具有预定的厚度，并且是涂覆到半导体材料上的；并且具有一个涂覆到绝缘材料上的电可接触的金属层（104），其中，这个金属层具有至少一个孔（106）、且该孔具有预定的孔隙宽度，其中，这个孔隙宽度和绝缘材料的厚度成一种预先规定的比例，并且其中，在孔的范围中绝缘材料是外露的。
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公开(公告)号：CN104062341A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410099611.6
申请日：2014-03-18
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01N27/407 , F01N11/00 , F23N5/00
CPC classification number: G01N25/32
Abstract: 本发明涉及一种用于分析在一用于拉姆达探头（102）的可加热元件（106）上的气体（108）的方法（200），其中，所述方法（200）具有一读入的步骤（202）和一确定的步骤（204）。在所述读入的步骤（202）中，读入一提供到所述可加热元件（106）上的用于维持所述可加热元件（106）的一预先确定的温度的热功率的值。在所述确定的步骤（204）中，在使用所述热功率的值的前提下确定在所述可加热元件(106)上的所述气体（108)的气体组成。
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公开(公告)号：CN104062340A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410096791.2
申请日：2014-03-17
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01N27/407 , B81B7/00
CPC classification number: G01N27/4067 , G01N27/123 , G01N27/128 , G01N27/409
Abstract: 微电化学传感器和用于运行微电化学传感器的方法。本发明涉及微电化学传感器（100），其具有由半导体衬底组成的载体材料（102）和布置在载体材料（102）的第一子区域中的化学敏感的传感器元件（104）。加热元件（106）布置在传感器元件（104）的区域中并且被构造用于对传感器元件（104）加温。微电子设备（108）布置在载体材料（102）的第二子区域中并且经由集成到载体材料（102）中的印制导线与传感器元件（104）和加热元件（106）连接。微电子设备（108）被构造用于运行加热元件（106）和传感器元件（104）。
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