用于检测两种或更多气体种类的方法

    公开(公告)号:CN102822667A

    公开(公告)日:2012-12-12

    申请号:CN201080066052.9

    申请日:2010-12-20

    IPC分类号: G01N27/414

    CPC分类号: G01N27/227 G01N27/414

    摘要: 本发明涉及一种用于借助基于场效应的气体传感器检测在气体混合物中的两种或者更多种气体种类的方法,所述气体传感器具有由气体电极与对应电极单元组成的气体电极-对应电极系统。为了能够检测多种气体种类,施加具有不同频率的交流电压或交流电流,由此气敏电极对气体种类是敏感的。所得的交流电流或者所得的交流电压在此在气体电极-对应电极系统上被测量,并且由所得的交流电流或者所得的交流电压来确定气体种类的存在和/或者浓度。

    传感器装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103109173B

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:CN201180045518.1

    申请日:2011-07-29

    IPC分类号: G01N1/02 F01N13/00

    摘要: 本发明涉及一种传感器装置,尤其用于探测带内燃机的机动车的废气中的气体排放物,包括气体管路(12)和由壳体(16)限定边界的以及与气体管路(12)的内部通过入口(18)和出口(20)流体连通的分析室(14),其中分析室(14)至少部分布置在气体管路(12)之外,并且其中在分析室(14)中这样布置传感器(28),使该传感器处在气体管路(12)之外。按照本发明设置了至少一个冷却元件(32),该冷却元件布置在气体管路(12)和传感器(28)之间的区域中。传感器(28)由此可以在处在废气温度之下的温度下运行。

    用于确定在气体混合物中含有的物质的气体传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN103575788A

    公开(公告)日:2014-02-12

    申请号:CN201310331204.9

    申请日:2013-08-01

    发明人: A.克劳斯 A.马丁

    IPC分类号: G01N27/414

    CPC分类号: G01N27/4141

    摘要: 本发明涉及用于确定在气体混合物中含有的物质的气体传感器(10),包含基底(12),在该基底上设置有源电极(18)、漏电极(20)和栅电极(22),其中在所述基底(12)和栅电极(22)之间设置有至少一个电绝缘层(28),其中所述栅电极(22)具有导电性的陶瓷材料,和其中所述栅电极(22)具有波动范围的厚度,该范围大于或者等于其总厚度的四分之一。这种气体传感器(10)特别是可以具有改善的测试性能和另外改善的可制备性。本发明还涉及这种气体传感器(10)的制备方法。

    用于监控化学敏感场效应晶体管的至少一种功能的方法和监控设备

    公开(公告)号:CN102628831A

    公开(公告)日:2012-08-08

    申请号:CN201210022334.X

    申请日:2012-02-01

    发明人: A.马丁 D.孔茨

    IPC分类号: G01N27/414

    CPC分类号: G01N27/4148

    摘要: 本发明涉及用于监控化学敏感场效应晶体管的至少一种功能的方法和监控设备。本发明提出一种用于在机动车中在化学敏感场效应晶体管的运行期间监控所述化学敏感场效应晶体管的至少一种功能的方法。所述化学敏感场效应晶体管具有源极接触部(302)、漏极接触部(304)和栅极电极(300)。所述方法具有步骤:调整在所述漏极接触部和所述源极接触部之间的电压(UDS)和在所述源极接触部和所述栅极电极之间的电压(UG)。此外所述方法具有步骤:测定在所述漏极接触部和所述源极接触部之间的通过电流(IDS),以便在使用所述通过电流的情况下监控所述化学敏感场效应晶体管的功能。

    化学敏感的场效应晶体管的制造方法

    公开(公告)号:CN102315128A

    公开(公告)日:2012-01-11

    申请号:CN201110190654.1

    申请日:2011-07-08

    IPC分类号: H01L21/336 G01N27/414

    CPC分类号: G01N27/4141

    摘要: 本发明涉及用于制造场效应晶体管、尤其用于气体传感器的化学敏感的场效应晶体管的方法。为了提高可采用的处理技术和材料的数量以及在处理衬底的顺序上的变化可能性,在该方法的范畴内构造一个栅绝缘保护层(3),其中该栅绝缘保护层(3)在进一步处理时保护该栅绝缘层(2)以防止环境影响,并在构造栅极层之前被部分或完全地去除。此外本发明还涉及这种场效应晶体管以及其应用。

    用于探测气体混合物的成分的传感器

    公开(公告)号:CN104185788B

    公开(公告)日:2018-03-30

    申请号:CN201080049517.X

    申请日:2010-09-20

    发明人: P.内夫 A.马丁

    IPC分类号: G01N27/414 G01N33/00

    CPC分类号: G01N33/0013 G01N27/4141

    摘要: 用于探测气体混合物(3)中的第一成分(4)的传感器(2)具有气体敏感的电极(8)和催化剂(16),所述催化剂(16)与电极(8)相间隔地设置在多孔载体陶瓷(18)上和/或中。催化剂(16)引起,以化学的方式改变在气体混合物中的第二成分(6),使得该第二成分(6)基本上不对电极的电势的改变作出贡献。

    化学敏感的场效应晶体管的制造方法

    公开(公告)号:CN102315128B

    公开(公告)日:2016-12-14

    申请号:CN201110190654.1

    申请日:2011-07-08

    IPC分类号: H01L21/336 G01N27/414

    摘要: 本发明涉及用于制造场效应晶体管、尤其用于气体传感器的化学敏感的场效应晶体管的方法。为了提高可采用的处理技术和材料的数量以及在处理衬底的顺序上的变化可能性,在该方法的范畴内构造一个栅绝缘保护层(3),其中该栅绝缘保护层(3)在进一步处理时保护该栅绝缘层2)以防止环境影响,并在构造栅极层之前被部分或完全地去除。此外本发明还涉及这种场效应晶体管以及其应用。