一种基于激光束主动扫描的光学元件表面疵病检测系统
摘要:
本发明公开了一种基于激光束主动扫描的光学元件表面疵病检测系统。在该检测系统中,被监测的光学元件与激光器、导向镜、光电探头之间不做相对运动,仅依靠导向镜的二维转动实现对光学元件表面的逐点主动扫描,并在扫描过程中实时改变光束的焦点位置使其始终落在光学元件表面上。该系统能够满足高功率固体激光装置中强光辐照环境、高真空环境以及狭窄空间中的光学元件在线监测,本发明的系统结构简单,使用灵活,应用范围广泛。
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