发明公开
CN102507596A 一种基于激光束主动扫描的光学元件表面疵病检测系统
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种基于激光束主动扫描的光学元件表面疵病检测系统
- 专利标题(英): Optical element surface defect detecting system based on active laser beam scanning
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申请号: CN201110365740.1申请日: 2011-11-18
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公开(公告)号: CN102507596A公开(公告)日: 2012-06-20
- 发明人: 程晓锋 , 王洪彬 , 徐旭 , 叶亚云 , 秦朗 , 苗心向 , 贺少勃 , 吕海兵 , 贺群 , 马志强 , 赵龙彪 , 袁晓东 , 郑万国
- 申请人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 申请人地址: 四川省绵阳市919信箱988-5分箱
- 专利权人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 当前专利权人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 当前专利权人地址: 四川省绵阳市919信箱988-5分箱
- 代理机构: 中国工程物理研究院专利中心
- 代理商 翟长明; 韩志英
- 主分类号: G01N21/88
- IPC分类号: G01N21/88 ; G01N21/94
摘要:
本发明公开了一种基于激光束主动扫描的光学元件表面疵病检测系统。在该检测系统中,被监测的光学元件与激光器、导向镜、光电探头之间不做相对运动,仅依靠导向镜的二维转动实现对光学元件表面的逐点主动扫描,并在扫描过程中实时改变光束的焦点位置使其始终落在光学元件表面上。该系统能够满足高功率固体激光装置中强光辐照环境、高真空环境以及狭窄空间中的光学元件在线监测,本发明的系统结构简单,使用灵活,应用范围广泛。
公开/授权文献
- CN102507596B 一种基于激光束主动扫描的光学元件表面疵病检测系统 公开/授权日:2014-04-02