发明授权
- 专利标题: 半导体刻蚀装置及半导体刻蚀方法
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申请号: CN201210545662.8申请日: 2012-12-14
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公开(公告)号: CN103035470B公开(公告)日: 2016-02-17
- 发明人: 王兆祥 , 梁洁 , 苏兴才 , 倪图强
- 申请人: 中微半导体设备(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号
- 专利权人: 中微半导体设备(上海)有限公司
- 当前专利权人: 中微半导体设备(上海)股份有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 骆苏华
- 主分类号: H01J37/32
- IPC分类号: H01J37/32 ; H01L21/67
摘要:
一种半导体刻蚀装置及半导体刻蚀方法,所述半导体刻蚀装置包括:反应腔,所述反应腔内具有承片台,用于放置待刻蚀基片;供气源,用于向所述反应腔内通入气体;等离子体射频功率源,用于将反应腔内的气体等离子体化;偏置射频功率源,用于在待刻蚀基片表面形成偏压;所述等离子体射频功率源和/或偏置射频功率源输出的射频信号为脉冲信号,且所述脉冲信号的脉冲频率和占空比随着时间的变化而改变。所述半导体刻蚀装置可以根据需要实时地调节反应腔内的等离子体的密度和偏置电压来控制通孔内的等离子体的交换和通孔内的反应速率,从而有利于控制通孔的侧壁形貌。
公开/授权文献
- CN103035470A 半导体刻蚀装置及半导体刻蚀方法 公开/授权日:2013-04-10