该成膜装置（10）包括：成膜室（11），用于在基板（W）形成覆膜；搬运架（14），用于垂直保持所述基板（W）以使所述基板（W）的一面沿竖直方向；装入和取出室（12），配置为通过开关部（17）与所述成膜室（11）连通；移动机构（40），设置在所述装入和取出室内，用于使所述搬运架（14）在使所述搬运架（14）在与所述成膜室（11）之间能够插脱的运送位置（P0）和与所述运送位置相邻的避让位置（P1、P2）之间移动，并且使所述搬运架（14）沿相对于竖直方向及水平方向分别形成大于0°且小于90°的规定角度的倾斜方向上下移动。