一种快恢复二极管FRD芯片及其制作方法
摘要:
本发明提供了一种快恢复二极管FRD芯片及其制作方法,所述FRD芯片包括芯片终端保护区,所述芯片终端保护区包括位于所述芯片终端保护区底部的P型掺杂区,所述P型掺杂区与阴极电极接触,且所述P型掺杂区的结深小于N+型阴极区的结深。该P型掺杂区在FRD正向导通时,对FRD终端保护区内的N-基区实现电子的零注入,大大减小了FRD终端保护区内的N-基区内的载流子浓度,在FRD关断时,整个N-基区内的载流子抽取速度将会加快,即关断时间得到减小,从而降低了关断损耗。
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