在封装工艺中切割底部填充物
摘要:
一种方法包括:在第三封装元件的顶面上接合第一封装元件和第二封装元件;及分配聚合物。该聚合物包括:位于第一封装元件和第三封装元件之间的间隔中的第一部分;位于第二封装元件和第三封装元件之间的间隔内的第二部分;及位于第一封装元件和第二封装元件之间的间隔内的第三部分。然后对聚合物实施固化工艺。在固化工艺之后,切割聚合物的第三部分以在第一封装元件和第二封装元件之间形成沟槽。本发明还提供了在封装工艺中切割底部填充物。
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