发明公开
- 专利标题: 在封装工艺中切割底部填充物
- 专利标题(英): Sawing underfill in packaging processes
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申请号: CN201210193236.2申请日: 2012-06-12
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公开(公告)号: CN103219293A公开(公告)日: 2013-07-24
- 发明人: 卢思维 , 王英达 , 郭立中 , 林俊成
- 申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹
- 专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹
- 代理机构: 北京德恒律治知识产权代理有限公司
- 代理商 章社杲; 孙征
- 优先权: 13/356,173 2012.01.23 US
- 主分类号: H01L21/98
- IPC分类号: H01L21/98 ; H01L23/31
摘要:
一种方法包括:在第三封装元件的顶面上接合第一封装元件和第二封装元件;及分配聚合物。该聚合物包括:位于第一封装元件和第三封装元件之间的间隔中的第一部分;位于第二封装元件和第三封装元件之间的间隔内的第二部分;及位于第一封装元件和第二封装元件之间的间隔内的第三部分。然后对聚合物实施固化工艺。在固化工艺之后,切割聚合物的第三部分以在第一封装元件和第二封装元件之间形成沟槽。本发明还提供了在封装工艺中切割底部填充物。
公开/授权文献
- CN103219293B 在封装工艺中切割底部填充物 公开/授权日:2015-06-24
IPC分类: