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发明公开
CN103430450A 压电振动片、压电振子、压电振动片的制造方法、及压电振子的制造方法 有权

  • 专利标题： 压电振动片、压电振子、压电振动片的制造方法、及压电振子的制造方法
  • 专利标题（英）： Piezoelectric vibrating reed, piezoelectric vibrator, method for manufacturing piezoelectric vibrating reed, and method for manufacturing piezoelectric vibrator
  • 申请号： CN201280003686.9
    申请日： 2012-02-24
  • 公开(公告)号： CN103430450A
    公开(公告)日： 2013-12-04
  • 发明人: 森本贤周 , 阪本和靖
  • 申请人： 株式会社大真空
  • 申请人地址： 日本兵库县
  • 专利权人： 株式会社大真空
  • 当前专利权人： 株式会社大真空
  • 当前专利权人地址： 日本兵库县
  • 代理机构： 北京三友知识产权代理有限公司
  • 代理商 李辉; 黄纶伟
  • 优先权： 2011-039414 2011.02.25 JP
  • 国际申请： PCT/JP2012/054611 2012.02.24
  • 国际公布： WO2012/115239 JA 2012.08.30
  • 进入国家日期： 2013-05-15
  • 主分类号： H03H9/19
  • IPC分类号： H03H9/19 ;  H03H3/02 ;  H03H9/10
压电振动片、压电振子、压电振动片的制造方法、及压电振子的制造方法
摘要：
本发明提供一种压电振动片、使用该压电振动片的压电振子、压电振动片的制造方法、及压电振子的制造方法。在压电振动片上，形成有至少一对激励电极，为了使所述一对激励电极与外部电极之间实现机电连接，而形成有从所述一对激励电极分别引出的至少一对引出电极。所述一对引出电极各自的前端部，具有被引出到所述压电振动片的一主面的一端部附近的连接电极。所述各个连接电极的顶面上，形成有与外部电极接合的第1金属膜。所述第1金属膜为，在其表面有两个以上的凸部，与所述各个连接电极相比，表面粗糙度更粗、面积更小，所述凸部的截面形状被形成为弯曲状。
摘要（英）：

At least one pair of excitation electrodes and at least one pair of lead-out electrodes are formed on a piezoelectric vibrating reed, the at least one pair of lead-out electrodes being led out of the pair of excitation electrodes in order to electromechanically connect the pair of excitation electrodes to an external electrode. The respective leading edge parts of the pair of lead-out electrodes have connection electrodes that are lead out close to an end section of a primary face of the piezoelectric vibrating reed. A first metal film to be connected to the external electrode is formed on the top surface of each connection electrode. The first metal film has, on the top surface, two or more convex parts, the surface of the first metal film being rougher, and the area being smaller, than those of each connecting electrode. The cross-section of the convex part is curved.

公开/授权文献
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