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公开(公告)号：CN101878590B
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN200980101049.3
申请日：2009-09-18
申请人： 株式会社大真空
CPC分类号： H03H9/215 , H03H9/0519 , H03H9/0595 , H03H9/1021 , H03H9/21
摘要： 音叉型压电振动片，至少由作为振动部的多根腿部、与外部接合的接合部、突出地设置这些上述腿部以及上述接合部的基部构成。上述多根腿部从上述基部的一端面突出，且并列设置在上述一端面上。上述接合部从与上述基部的一端面相向的另一端面的下述位置突出，该位置是与上述基部的一端面的宽度方向上的上述多根腿部的中间位置相向的位置。而且，至少上述接合部的基端部被作为与外部接合的接合区域。
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公开(公告)号：CN105075119A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201380073572.6
申请日：2013-12-11
申请人： 株式会社大真空
CPC分类号： H03H9/21 , H03H9/02062 , H03H9/02157 , H03H9/1021
摘要： 一种音叉型水晶振动片，其由具有结晶取向的水晶片形成。在音叉型水晶振动片上，设置有基部和从基部向一个方向突出的一对第一腿部及第二腿部。在第一腿部及第二腿部上分别形成有相对于第一腿部及第二腿部的宽度方向上的中心偏移的槽部。而且，在槽部中，在从第一腿部及第二腿部的宽度方向上的端面来看的形状上，槽部的最低点位于宽度方向(第一腿部及第二腿部的宽度方向)上的槽部的中央。
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公开(公告)号：CN103250349B
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201280004036.6
申请日：2012-02-02
申请人： 株式会社大真空
发明人： 阪本和靖
CPC分类号： H03H3/02 , H03H9/02133 , H03H9/02149 , H03H9/0519 , H03H9/1021 , H03H9/21 , H03H2003/026
摘要： 音叉型压电振动片为，压电振动板原板由作为振动部的一对脚部、和设置有延伸出的所述脚部的基础部构成。所述一对脚部并排设置且从所述基础部的一端面延伸出，在所述一对脚部之间的、所述基础部的一端面的宽度方向的中间位置上形成有叉部。在所述基础部上，沿所述基础部的一端面形成有一对通孔，在与所述基础部的一端面相对的另一端面侧有与外部接合的接合区域。所述一对通孔以两通孔互不相接的状态被形成在比所述一对脚部的基座部更接近基础部的宽度方向的中线的位置上。所述通孔为，从所述压电振动板原板的正反两主面上的所述通孔的两端部朝着所述压电振动板原板的内部，所述通孔的俯视面积逐渐变小，且所述通孔的壁面被形成为螺旋状。
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公开(公告)号：CN105075119B
公开(公告)日：2018-09-25
申请号：CN201380073572.6
申请日：2013-12-11
申请人： 株式会社大真空
摘要： 一种音叉型水晶振动片，其由具有结晶取向的水晶片形成。在音叉型水晶振动片上，设置有基部和从基部向一个方向突出的一对第一腿部及第二腿部。在第一腿部及第二腿部上分别形成有相对于第一腿部及第二腿部的宽度方向上的中心偏移的槽部。而且，在槽部中，在从第一腿部及第二腿部的宽度方向上的端面来看的形状上，槽部的最低点位于宽度方向(第一腿部及第二腿部的宽度方向)上的槽部的中央。
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公开(公告)号：CN105191124B
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201480015932.1
申请日：2014-05-27
申请人： 株式会社大真空
CPC分类号： H03H9/215 , A61C1/084 , A61C8/0062 , A61C8/0089 , A61C13/0001 , A61C13/0004 , H01L41/047
摘要： 在音叉型压电振动片(2)中，压电振动板原板由具有与外部接合的区域的基部(25)和从该基部的一端面突出的一对腿部(21、22)构成，上述一对腿部具有：具有激励电极的振动部(212、222)；形成在该振动部的前端的宽幅的锤部(211、221)；上述振动部与锤部之间的连接部(213、223)，上述连接部具有从上述振动部朝向上述锤部，以指数函数增大其宽度方向上的尺寸的增幅部，上述增幅部被形成为长度方向上的尺寸比宽度方向上的尺寸长，上述锤部具有从与上述连接部的连结位置起宽度方向上的尺寸为固定的等宽部分，并且上述锤部不形成激励电极。
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公开(公告)号：CN103430450A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201280003686.9
申请日：2012-02-24
申请人： 株式会社大真空
CPC分类号： H01L41/0475 , H01L41/29 , H03H3/02 , H03H9/131 , H03H9/132 , H03H9/17 , H03H9/21 , H03H2003/022
摘要： 本发明提供一种压电振动片、使用该压电振动片的压电振子、压电振动片的制造方法、及压电振子的制造方法。在压电振动片上，形成有至少一对激励电极，为了使所述一对激励电极与外部电极之间实现机电连接，而形成有从所述一对激励电极分别引出的至少一对引出电极。所述一对引出电极各自的前端部，具有被引出到所述压电振动片的一主面的一端部附近的连接电极。所述各个连接电极的顶面上，形成有与外部电极接合的第1金属膜。所述第1金属膜为，在其表面有两个以上的凸部，与所述各个连接电极相比，表面粗糙度更粗、面积更小，所述凸部的截面形状被形成为弯曲状。
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公开(公告)号：CN103430450B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201280003686.9
申请日：2012-02-24
申请人： 株式会社大真空
CPC分类号： H01L41/0475 , H01L41/29 , H03H3/02 , H03H9/131 , H03H9/132 , H03H9/17 , H03H9/21 , H03H2003/022
摘要： 本发明提供一种压电振动片、使用该压电振动片的压电振子、压电振动片的制造方法、及压电振子的制造方法。在压电振动片上，形成有至少一对激励电极，为了使所述一对激励电极与外部电极之间实现机电连接，而形成有从所述一对激励电极分别引出的至少一对引出电极。所述一对引出电极各自的前端部，具有被引出到所述压电振动片的一主面的一端部附近的连接电极。所述各个连接电极的顶面上，形成有与外部电极接合的第1金属膜。所述第1金属膜为，在其表面有两个以上的凸部，与所述各个连接电极相比，表面粗糙度更粗、面积更小，所述凸部的截面形状被形成为弯曲状。
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公开(公告)号：CN105191124A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201480015932.1
申请日：2014-05-27
申请人： 株式会社大真空
CPC分类号： H03H9/215 , A61C1/084 , A61C8/0062 , A61C8/0089 , A61C13/0001 , A61C13/0004 , H01L41/047
摘要： 在音叉型压电振动片(2)中，压电振动板原板由具有与外部接合的区域的基部(25)和从该基部的一端面突出的一对腿部(21、22)构成，上述一对腿部具有：具有激励电极的振动部(212、222)；形成在该振动部的前端的宽幅的锤部(211、221)；上述振动部与锤部之间的连接部(213、223)，上述连接部具有从上述振动部朝向上述锤部，以指数函数增大其宽度方向上的尺寸的增幅部，上述增幅部被形成为长度方向上的尺寸比宽度方向上的尺寸长，上述锤部具有从与上述连接部的连结位置起宽度方向上的尺寸为固定的等宽部分，并且上述锤部不形成激励电极。
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