发明公开
- 专利标题: 挠性器件的制造方法及挠性器件
- 专利标题(英): Flexible device manufacturing method and flexible device
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申请号: CN201180070682.8申请日: 2011-07-06
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公开(公告)号: CN103518262A公开(公告)日: 2014-01-15
- 发明人: 田中裕司 , 奥本健二
- 申请人: 松下电器产业株式会社
- 申请人地址: 日本大阪府
- 专利权人: 松下电器产业株式会社
- 当前专利权人: 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址: 日本大阪府
- 代理机构: 北京市中咨律师事务所
- 代理商 段承恩; 田欣
- 国际申请: PCT/JP2011/003864 2011.07.06
- 国际公布: WO2013/005254 JA 2013.01.10
- 进入国家日期: 2013-11-06
- 主分类号: H01L27/12
- IPC分类号: H01L27/12 ; G09F9/00 ; G09F9/30 ; H01L21/02 ; H01L27/32 ; H01L51/50 ; H05B33/02
摘要:
一种制造挠性器件5的方法,是在表面具有羟基的支撑体1上涂布规定的溶液并烧成而形成剥离层2,在上述剥离层2上形成挠性基板3、器件4,以上述支撑体1与上述剥离层2之间为界,从上述支撑体1上剥离上述剥离层2、上述挠性基板3和上述器件4,来制造挠性器件5的方法,其中,在上述第2工序中的烧成温度为200℃以上且小于270℃的情况下,使上述规定的溶液中的烷基烷氧基硅烷衍生物中含有的硅原子数、与上述烷氧基钛衍生物中含有的钛原子数之比为3.3~4.1:1,在上述烧成温度为270℃以上330℃以下的情况下,使上述比为3.3~23:1,在上述烧成温度为超过330℃且350℃以下的情况下,使上述比为19~23:1。
公开/授权文献
- CN103518262B 挠性器件的制造方法及挠性器件 公开/授权日:2016-07-06
IPC分类: