挠性器件的制造方法及挠性器件
摘要:
一种制造挠性器件5的方法,是在表面具有羟基的支撑体1上涂布规定的溶液并烧成而形成剥离层2,在上述剥离层2上形成挠性基板3、器件4,以上述支撑体1与上述剥离层2之间为界,从上述支撑体1上剥离上述剥离层2、上述挠性基板3和上述器件4,来制造挠性器件5的方法,其中,在上述第2工序中的烧成温度为200℃以上且小于270℃的情况下,使上述规定的溶液中的烷基烷氧基硅烷衍生物中含有的硅原子数、与上述烷氧基钛衍生物中含有的钛原子数之比为3.3~4.1:1,在上述烧成温度为270℃以上330℃以下的情况下,使上述比为3.3~23:1,在上述烧成温度为超过330℃且350℃以下的情况下,使上述比为19~23:1。
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